北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“形成含氮化钒的层的方法及包含其的结构”的专利，公开号CN122846784A，申请日期为2020年12月。
专利摘要显示，本公开涉及形成含氮化钒的层的方法。所述方法包括在反应器的反应腔室内提供基板以及向基板的表面上沉积含氮化钒的层，其中沉积工艺包括向反应腔室提供钒前体以及向反应腔室提供氮前体。本公开还涉及包含含氮化钒的层的结构和器件。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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