北京
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国家知识产权局信息显示，朗姆研究公司申请一项名为“设定喷头与衬底支撑件之间的间隙的自动间隙调节感测设备的转位”的专利，公开号CN122847992A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，用于在处理室中转位设备的转位臂包括：第一构件，其用于至少与处理室的轮毂接合，轮毂设置于处理室的衬底处理站之间；以及第二构件，其从第一构件延伸，且支撑设备，该设备在喷头和衬底处理站中的一者的衬底支撑件之间，设备用于测量喷头和设备之间的间隙。经由轮毂和第一构件，第二构件可在衬底处理站之间进行转位。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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