北京
国家知识产权局信息显示，合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“等离子刻蚀设备”的专利，公开号CN122843280A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本申请公开了一种等离子刻蚀设备，等离子刻蚀设备用于参与显示面板的制备，等离子刻蚀设备包括：刻蚀腔室，刻蚀腔室包括腔室壁以及由腔室壁围合形成的刻蚀空间，腔室壁包括相互连接的顶壁、底壁与侧壁，顶壁与底壁在第一方向上相对，侧壁设置于顶壁与底壁之间，侧壁朝向刻蚀空间的一侧具有侧壁面；第一供给管路，第一供给管路与刻蚀空间相连，第一供给管路用于向刻蚀空间内供给处理气体或处理气体的前体气体；第二供给管路，第二供给管路与刻蚀空间相连，第二供给管路用于向刻蚀空间内供给水蒸气，其中，至少部分第二供给管路布置于侧壁朝向刻蚀空间的一侧，且布置于侧壁的第二供给管路的延伸方向与至少部分侧壁面平行。
天眼查资料显示，合肥维信诺科技有限公司，成立于2018年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目999次，专利信息4699条，此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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