北京
国家知识产权局信息显示，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种基片载台、半导体处理设备及基片载台的制备方法”的专利，公开号CN122847131A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本说明书提供了一种基片载台、半导体处理设备及基片载台的制备方法，其中，基片载台，用于承载基片，包括：载台主体；环状密封部设置于载台主体内，并与载台主体的内壁之间形成凹槽，凹槽的槽底低于环状密封部的顶面高度；在基片承载于载台主体的状态下，环状密封部在基片的边缘区域的径向内侧与基片接触，凹槽与基片的边缘区域相对并与基片的边缘区域之间形成间隙。通过本说明书实施例提供的基片载台、半导体处理设备及基片载台的制备方法，可以降低基片在边缘存在碰伤、缺口或者背面薄膜沉积时发生碎裂及粘连的概率，从而提高基片的完整性和工艺良率。
天眼查资料显示，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目58次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息717条，此外企业还拥有行政许可69个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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