北京
国家知识产权局信息显示，福建省金石能源股份有限公司申请一项名为“一种大面积匀气交叉电极等离子离化装置”的专利，公开号CN122833580A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种大面积匀气交叉电极等离子离化装置，该装置包括腔体、载板、匀气组件和交叉电极组件，腔体内部四周设有内辅热，载板设置于腔体下方用于承载待处理基材；匀气组件由进气组件、上电极板、匀气板 A、匀气板 B、匀气隔离板及匀气分层框组成，工艺气体经多层匀气结构均匀扩散至腔体内部；交叉电极组件包括交替排列的正电极柱和负电极柱，正负电极柱固定于石英材质的匀气隔离板上，通过电极连接柱和电极引出柱与外部电源连接。通过空间交叉排列的电极结构形成均匀的多维电场网络，实现等离子体在大面积腔体内的均匀分布，同时将等离子体产生区域与基材放置区域解耦，避免了高能粒子对基材的直接轰击损伤，提升沉积速率、产品良率。
天眼查资料显示，福建省金石能源股份有限公司，成立于2016年，位于泉州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本21725.931万人民币。通过天眼查大数据分析，福建省金石能源股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息602条，此外企业还拥有行政许可22个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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