北京
国家知识产权局信息显示，华芯程（上海）科技有限公司申请一项名为“一种光学邻近校正后热点修复的方法及装置”的专利，公开号CN122815758A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明公开了一种光学邻近校正后热点修复的方法及装置，将光学邻近校正后掩膜图案栅格化，得到掩膜图像；对掩膜图像仿真，得到仿真的光刻胶图像与光刻胶轮廓；基于光刻胶轮廓进行热点检测，确定各个热点对应的热点区域；根据热点区域在掩膜图像上确定各个热点对应的掩膜图像优化区域；按照预设的代价函数对该区域内各个图像栅格的强度进行优化；基于优化后的掩膜图像重复仿真与热点检测，判断热点是否被修复；当存在热点未被修复时，将其对应的掩膜图像优化区域扩大后重复优化，直至完成修复；对热点修复后的掩膜图像进行二值化，得到热点修复后的掩膜图案。本发明减少了运行时间和对热点以外区域的影响，提升了热点修复效率。
天眼查资料显示，华芯程（上海）科技有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1248.8865万人民币。通过天眼查大数据分析，华芯程（上海）科技有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息63条，专利信息155条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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