北京
国家知识产权局信息显示，长春智冉光电科技有限公司申请一项名为“一种深紫外大NA长工作距检测物镜”的专利，公开号CN122815655A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种深紫外大NA长工作距检测物镜，涉及检测物镜技术领域，检测物镜为193.368nm深紫外单波长无限远成像物镜，由18片球面透镜构成，沿光轴自物方至像方依次包括正光焦度第一透镜组、正光焦度第二透镜组、负光焦度第三透镜组和正光焦度第四透镜组，第二透镜组内设光阑，出射光为平行光。本发明通过第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组和第四透镜组依次形成前端汇聚、孔径控制、中部像差平衡和后端孔径扩展的光学结构，并结合焦距分配，使检测物镜在193.368nm深紫外波段下兼顾0.89～0.97的大数值孔径和大于3.3mm的物方工作距离，既提高纳米级缺陷检测分辨率，又降低物镜与被测晶圆、芯片或检测平台发生干涉的风险。
天眼查资料显示，长春智冉光电科技有限公司，成立于2021年，位于长春市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本649.955万人民币。通过天眼查大数据分析，长春智冉光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息19条，专利信息38条，此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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