北京
国家知识产权局信息显示，昆山大川塑胶工业有限公司申请一项名为“一种基于流体优化的晶圆载具清洗方法及系统”的专利，公开号CN122819026A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于流体优化的晶圆载具清洗方法及系统，涉及晶圆载具清洗技术领域。方法包括：基于晶圆载具的几何结构数据及污染物特征数据，建立清洗立体模型；获取清洗工艺样本数据，进行清洗参数特征解析，建立清洗参数特征画像；利用清洗参数特征画像对清洗立体模型，进行流体模拟响应搜索目标响应参数，获得流体清洗参数组；利用流体清洗参数组进行清洗操控单元指令解析，生成清洗控制指令。解决了现有技术中晶圆载具清洗过程难以根据载具结构和污染分布进行差异化清洗，导致清洗均匀性较差、清洗效率与清洗质量较低的技术问题，达到了提高晶圆载具清洗质量、清洗效率及清洗稳定性的技术效果。
天眼查资料显示，昆山大川塑胶工业有限公司，成立于2013年，位于苏州市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1550万人民币。通过天眼查大数据分析，昆山大川塑胶工业有限公司参与招投标项目10次，专利信息68条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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