北京
国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“一种半导体设备及其卡盘温度控制方法、装置”的专利，公开号CN122825770A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种半导体设备及其卡盘温度控制方法、装置，涉及半导体制造技术领域，包括：在射频开启的状态下，基于对应关系，通过调节卡盘的入口处温控介质的温度、出口处温控介质的温度和温控介质的冷热比例值中的一种或多种使得卡盘的测量温度达到工艺设定温度；对应关系为在射频关闭状态下卡盘的入口处温控介质的温度、出口处温控介质的温度和温控介质的冷热比例值中的一种或多种与卡盘的测量温度之间的对应关系，温控介质包括温度较高的第一介质和温度较低的第二介质，冷热比例值反映第一介质和第二介质的比例。由此，结合能够反映温控介质的状态参数与卡盘实际温度的关联性的对应关系实现对卡盘温度的控制，可提升半导体工艺性能表现。
天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息23条，专利信息367条，此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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