北京
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国家知识产权局信息显示，华南理工大学;中稀高科（广东）集团有限公司申请一项名为“一种基于数字孪生的含稀土元素半导体晶圆制造数据建模与实时优化系统”的专利，公开号CN122797287A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种基于数字孪生的含稀土元素半导体晶圆制造数据建模与实时优化方法，属于半导体制造技术领域。所述方法包括：构建稀土元素特性感知层数据基底，将离线测量的离散数据转换为覆盖全晶圆的连续分布场；建立稀土‑工艺耦合数字孪生模型，将稀土特性感知层数据作为初始条件与工艺物理模型进行耦合求解；实时采集稀土特征光谱信号，通过数据同化算法校准模型状态；基于校准后的状态场计算稀土性能指标，驱动稀土专用决策神经网络生成工艺控制指令；输出优化后的工艺配方文件。本发明通过引入稀土元素特异性感知与建模，解决了现有数字孪生技术无法描述稀土元素动态行为的技术难题，实现了对含稀土晶圆掺杂浓度与激活率的精准控制。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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