北京
国家知识产权局信息显示，青岛云联智享信息技术有限公司申请一项名为“半导体器件及其制造方法”的专利，公开号CN122803704A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本发明提供了一种半导体器件及其制造方法，其中半导体器件的制造方法包括以下步骤：提供半导体衬底，并在半导体衬底上形成介电层，介电层中具有渐变的掺杂离子；形成多个导电插塞，且每个导电插塞贯穿介电层；利用光刻和刻蚀工艺形成沟槽结构于相邻的导电插塞之间的介电层中；对沟槽结构执行湿法刻蚀处理，使沟槽结构形成上窄下宽的形状或者从上至下窄宽多次交替的形状；形成第一掩蔽层于介电层上，第一掩蔽层封住沟槽结构的上端口形成空气间隙。本发明通过形成空气间隙减小介电常数k，进而降低RC延迟。
天眼查资料显示，青岛云联智享信息技术有限公司，成立于2023年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛云联智享信息技术有限公司专利信息18条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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