北京
国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司申请一项名为“CD-SEM最佳工作条件确定方法及装置、存储介质和终端”的专利，公开号CN122798683A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本发明公开了一种CD‑SEM最佳工作条件确定方法及装置、存储介质和终端，其中方法包括基于待测材料的原子序数类型确定工作条件中的初始优化加速电压和初始收集电压；基于待测材料的深宽比确定工作条件中的CD‑SEM成像模式；获取CD‑SEM在当前工作条件下所采集到待测材料的成像图像，判断当前成像图像是否满足预设对比度阈值条件，若否则基于第一预设电压调整方式对当前工作条件进行调整，若是则判断当前成像图像是否满足预设准确度阈值条件，若是将当前工作条件作为CD‑SEM的最佳工作条件，否则基于第二预设电压调整方式对当前工作条件进行调整。实现根据不同的材料特性和成像需求自动选择并确定CD‑SEM的最佳工作条件，以提升不同材料和结构待测材料的成像质量和量测精度。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目197次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息1147条，此外企业还拥有行政许可57个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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