富创精密取得高纯氧化铝顶针相关专利，高纯氧化铝顶针化学残留针对性去除防污染

来源：新浪证券-红岸工作室

9月20日消息，国家知识产权局信息显示，沈阳富创精密设备股份有限公司申请一项名为“一种高纯氧化铝材质顶针类部件化学残留去除工艺”的专利，授权公告号CN118002547B，授权公告日为2026年9月18日。申请公布号为CN118002547A，申请号为CN202311413890.4，申请公布日期为2026年9月18日，申请日期为2023年10月30日，发明人王志远、李文明，专利代理机构沈阳中科博诚专利代理事务所（特殊普通合伙），专利代理师崔红梅，分类号B08B3/12、B08B1/14、B08B13/00。

专利摘要显示，本发明涉及一种高纯氧化铝材质顶针类部件化学残留去除工艺，工艺步骤如下：1）部件来料检查，2）部件前处理，3）部件清洗处理，4）部件清洗处理，5）部件清洗处理，6）部件放置在经过检测的烘箱中干燥，7）高温烘烤至1000℃及降至60℃过程中，8）高温烘烤后，9）部件放置在经过检测的烘箱中干燥，10）最终部件真空加防静电包装。本发明与现有清洗工艺比较，增加不同频率超声清洗，比现有工艺清洗该类陶瓷材质顶针产品，浅表层不同粒径颗粒污染物更有针对性的去除。与传统的清洗增加烘箱清洁和检测过程，控制住在清洗过程中设备内部洁净度和残留物在烘烤过程中向部件内部扩散，对部件造成的污染。

富创精密是国内领先的半导体设备精密零部件龙头企业，拥有全产业链布局的核心竞争优势。公司成立于2008年6月24日，于2022年10月10日在上海证券交易所上市，注册及办公地点均位于辽宁省沈阳市。

富创精密是专注于7纳米工艺制程的半导体设备精密零部件制造商，所属申万行业为电子-半导体-半导体设备，同时覆盖半导体产业、集成电路、半导体设备三大概念板块。

2026年上半年，富创精密实现营业收入23.18亿元，在27家同行业可比公司中排名第7，该数值高于行业21亿元的平均水平，大幅超出8.97亿元的行业中位数，同期行业内营收排名前两位的北方华创、中微公司分别实现201.61亿元、66.91亿元。当期公司实现净利润1.57亿元，位列行业第14位，该业绩与行业中位数持平，低于4.99亿元的行业平均水平，同期行业净利润前两位的北方华创、中微公司分别录得32.29亿元、27.97亿元。

指标类型 报告期 公司数值 行业排名/总样本数 行业头部企业数值 行业平均数 行业中位数 营业收入 2026年上半年 23.18亿元 7/27 北方华创201.61亿元、中微公司66.91亿元 21亿元 8.97亿元 净利润 2026年上半年 1.57亿元 14/27 北方华创32.29亿元、中微公司27.97亿元 4.99亿元 1.57亿元

沈阳富创精密设备股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种集成电路用多层散热结构焊接检测方法发明专利授权CN202610707110.42026-05-21CN122237791B2026-07-21刘佳2一种集成电路用多层散热结构焊接系统及工艺发明专利授权CN202610706014.82026-05-21CN122210164B2026-08-21刘佳3一种半导体设备超洁净抗磨损腔体阀及其渗氮处理方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610679089.12026-05-18CN122235631A2026-06-19常向鹏、李加平、辛洪旭、佟伟平4一种半导体真空制程的晶圆传输设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610660339.72026-05-14CN122206223A2026-06-12何树鹏、叶寅、杨光辉、李加平、孙晓恒5一种耐等离子体的阀板密封组件及其制备方法和应用发明专利授权CN202610479570.62026-04-13CN122014872B2026-07-17崔哲、叶寅、何树鹏、李加平、孙晓恒6一种台阶孔加工无毛刺加工刀具实用新型授权CN202620342416.X2026-03-19CN224128677U2026-04-17刘佳、马超7铝合金材料焊接定位夹具发明专利实质审查的生效、公布CN202511939618.92025-12-22CN121755988A2026-03-31韦宝权、刘佳8匀气盘流道焊接防堵工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511939440.82025-12-22CN121755966A2026-03-31韦宝权、刘佳9集成电路多层结构焊接定位工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511939315.72025-12-22CN121755816A2026-03-31韦宝权、刘佳10旋转轴径向跳动检测工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511939014.42025-12-22CN121855368A2026-04-14刘佳、修晓岩11集成电路部件尺寸精密测量仪发明专利实质审查的生效、公布CN202511939135.92025-12-22CN121953805A2026-05-01刘佳、修晓岩12不锈钢零部件抛光工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511884170.52025-12-15CN121608046A2026-03-06徐宏岩、丛雪13一种双零件产品自动定心治具及其工作方法发明专利公布CN202511874132.12025-12-12CN121670395A2026-03-17潘虹14一种调整三坐标测针角度治具发明专利实质审查的生效、公布CN202511874099.22025-12-12CN121898220A2026-04-21马超、修晓岩15一种磨粒流设备单出口转多出口通用分流工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511862845.62025-12-11CN121696863A2026-03-20马超、修晓岩16一种细长出孔多孔的机外流体往复抛光装置及其工作方法发明专利公布CN202511862895.42025-12-11CN121821249A2026-04-10王新、石泽驰17一种用于加工薄筋工位的非标成型刀具发明专利公布CN202511853502.32025-12-10CN121820711A2026-04-10杨健、吴鹏18一种用于高精度异形水道加工的非标成型刀发明专利公布CN202511835304.42025-12-08CN121624511A2026-03-10李博19一种用于制备高耐磨自润滑镀层的电镀方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511835860.12025-12-08CN121853134A2026-04-14王海同20气体管道接头抛光工装发明专利实质审查的生效、公布CN202511805493.02025-12-03CN121589702A2026-03-03李佳颖21半导体设备零部件表面喷砂处理装置发明专利公布CN202511805370.72025-12-03CN121670538A2026-03-17徐宏岩、丛雪22一种超洁净钢管切割断料分离装置发明专利公布CN202511795617.12025-12-02CN121649472A2026-03-13赵闯、袁毅军、俞强23一种基于低共熔溶剂的镀镍方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511795751.12025-12-02CN121781236A2026-04-03王海同24一种自动化机加设备的上下料处理装置及其处理方法发明专利公布CN202511795960.62025-12-02CN121799894A2026-04-07刘鑫、丛雪25一种板式组合夹具发明专利实质审查的生效、公布CN202511758337.32025-11-27CN121315853A2026-01-13佟海龙26一种拼装组合卡盘发明专利实质审查的生效、公布CN202511760201.62025-11-27CN121360831A2026-01-20佟海龙27一种金属零件内腔痕量金属元素检测工装及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511708489.22025-11-20CN121324471A2026-01-13李士文、佟毅、郭昊28一种用于加工燕尾密封槽的刀具组及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511709738.X2025-11-20CN121373499A2026-01-23牛月强、王立国、段永为29一种锥孔直径检验量具及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511710574.22025-11-20CN121498509A2026-02-10段永为30一种碳纤维表面高结合力镀镍的方法及其专用活化液发明专利公布CN202511709432.42025-11-20CN121556010A2026-02-24王海同31一种铝合金小变形和高强度的固相扩散焊方法发明专利授权CN202511698271.32025-11-19CN121156471B2026-03-03李鹏、李金超、李天宇32一种用于弓形零件的弹性压紧排列电抛治具及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511685903.22025-11-18CN121321200A2026-01-13王新33一种轴套类工件双夹持上下料装置及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511663144.X2025-11-13CN121292106A2026-01-09赵闯、房吉晨、尹玉34一种超洁净钢管弯管工装及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511643096.82025-11-11CN121244744A2026-01-02赵闯、袁毅军35一种梯形多用非标刀具及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511633652.32025-11-10CN121289563A2026-01-09吴鹏、杨健36一种超洁净钢管自动出料装置及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511623771.02025-11-07CN121292099A2026-01-09赵闯、袁毅军37一种攻丝油自动加注机构及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511612570.02025-11-06CN121289619A2026-01-09牛月强、王新、张硕38一种用于圆环类零件焊接的自动校形治具及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511600556.92025-11-04CN121267519A2026-01-06陈国贤39一种通气基座孔内电解抛光批量上挂治具及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511598529.22025-11-04CN121363038A2026-01-20宋秋风、佟毅、石皓元40一种用于不规则半导体零件清洗的清洗框及其工作方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511600516.42025-11-04CN121372933A2026-01-23陈国贤41一种用于基座环焊接的定位夹持装置及其工作方法发明专利公布CN202511570531.92025-10-30CN121017770A2025-11-28王新、牛月强、韩立营42一种调整固定式测座三坐标角度辅助工装发明专利授权CN202511568117.42025-10-30CN121026040B2026-02-24马超、修晓岩43一种用于带有空腔的铝合金闭合结构焊接后精密加工的方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511495569.42025-10-20CN121289960A2026-01-09孙德钰、武国威、李先哲、杨秋才44一种气体歧管块的电解抛光装置发明专利实质审查的生效、公布CN202511496191.X2025-10-20CN121321198A2026-01-13王新45一种用于连接高真空管路的二段式真空角阀发明专利实质审查的生效、公布CN202511496544.62025-10-20CN121382930A2026-01-23赵子旭、李加平、辛洪旭、孙晓恒、闫鹤馨46一种复合型圆弧角倒角刀实用新型授权CN202522211977.42025-10-20CN224658222U2026-08-21王尧、吕小林、王新、牛月强、韩立营47一种带有气道的焊接产品真空钎焊方法发明专利实质审查的生效、公布CN202511488552.62025-10-17CN121267288A2026-01-06石戴延、韦宝权、祝影48一种内孔刀检测机构发明专利实质审查的生效、公布CN202511488889.72025-10-17CN121374280A2026-01-23牛月强、王新、段永为49一种用于三坐标检测的定心虎钳快速定位工装底座发明专利实质审查的生效、公布CN202511479752.52025-10-16CN121403267A2026-01-27马超、刘佳、刘宇航50一种氟橡胶表面高结合力金属化的方法及其专用活化处理液发明专利实质审查的生效、公布CN202511480176.62025-10-16CN121451164A2026-02-03王海同