北京
国家知识产权局信息显示，沈阳新松半导体设备有限公司申请一项名为“一种基于高速图像传感器晶圆AWC校准方法及系统”的专利，公开号CN122766268A，申请日期为2025年3月。
专利摘要显示，本发明公开一种基于高速图像传感器晶圆AWC校准方法及系统，包括：首次晶圆搬运，通过采集晶圆和机械手指在home位置以及运动轨迹中某个位置的实时图像，计算晶圆和机械手指在坐标系中位置坐标，此位置坐标作为计算偏差的参照基准，即相对的基坐标；晶圆搬运过程中，系统控制高速图像传感器在基准位置采集晶圆和机械手指的实时图像；经过图像处理计算出晶圆和机械手指的实时坐标位置；将实时坐标与基准坐标计算比照，计算晶圆和机械手在其运动轨迹中的位置与基准坐标位置偏差差值；根据计算的位置偏差差值，调整机械手运动轨迹，并工位放置晶圆时候，对晶圆进行位置补偿，从而实现对晶圆的AWC校准控制。
天眼查资料显示，沈阳新松半导体设备有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本29294.5455万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳新松半导体设备有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息69条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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