国家知识产权局信息显示,深圳市鑫润达电子有限公司取得一项名为“一种光刻机长光路辅助定位装置”的专利,授权公告号CN224758887U,申请日期为2025年9月。
专利摘要显示,本实用新型涉及光刻机定位技术领域,具体为一种光刻机长光路辅助定位装置,包括底座,所述底座位于整个装置的底端,所述底座上安装有升降组件,所述升降组件上安装有可对晶圆进行夹紧的一体式夹紧台,所述夹紧台中间开设的槽处放置有晶圆,且晶圆底端安装可均匀加热的红外线加热器。本装置设置的定位装置底端安装有升降组件,可通过气缸驱动气杆来调节升降组件的高度调节,方便于对根据使用需要对夹紧台上的晶圆实现不同高度的调控,设置的夹紧台上安装的晶圆通过夹紧组件实现夹紧,通过电机的正反实现连接块上夹块的收缩和展开,便于对晶圆实现稳定的夹紧,配合夹紧组件上安装的红外线加热器实现对晶圆的均匀加热,提高了装置的实用性。
天眼查资料显示,深圳市鑫润达电子有限公司,成立于2005年,位于深圳市,是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市鑫润达电子有限公司财产线索方面有商标信息1条,专利信息1条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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