200纳米：锡山这家企业把精度“抠”进纳米级

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（来源：无锡日报）

就在几个月前，位于锡山区东北塘街道的无锡群科直驱半导体设备有限公司，将这一连串小数点后的零，往前推了关键几步——企业自主研发的纳米级设备平台，在实验室测试中达到200纳米级精度。

“我们做到了。”总经理朱小瑞说这话时，语气平静，但实验室里反复验证了大半年的数据，足以让任何一位从业者明白这三个字的分量。日前，记者获悉，企业正着手准备市、省首台（套）重大装备申报。这项从微米级向纳米级的跨越，正加快从实验室走向产业化。

一场大会

让紧迫感更真实了

2026集成电路（无锡）创新发展大会期间，朱小瑞的亲身经历让他更加坚定了判断——向更高精度领域继续突破，这条路走对了。“外地企业明显多了，无锡集成电路产业的影响力越来越大。” 走进展馆，他没有在整机模型前过多停留，目光更多落在设备内部的运动单元、材料和零部件方案上。看展的人潮里，他感受到的不只是热度，更是紧迫感——产业链对国产核心零部件的需求，比想象中更迫切。

这种感受并非空穴来风。在半导体生产过程中，无论是工艺加工还是测量检测，设备内部的运动机构都承担着高精度移动、定位等关键功能。平台能否“走得准、停得稳”，直接关系整机的加工和检测精度。过去，达到纳米精度等级的相关产品主要依赖进口。如何让高精度运动平台实现国产替代，是群科直驱近年来重点攻坚的方向。

纳米级

不是小数点后挪几位那么简单

精度从微米级提升至纳米级，发生在今年6月。但这场技术跨越的背后，是长达数年的持续攻坚。

“纳米级”并非某一个参数达到要求就算过关。定位精度、重复定位精度、平面度、垂直度……多项指标共同构成一个系统性的精度体系。“从微米到纳米，看上去只是小数点往后挪了几位，实际上是材料、加工、装配、测量和环境控制的整体跃升。”朱小瑞说，平台每一次移动、每一次停靠，都要控制在肉眼无法分辨的尺度内，任何一个环节“掉链子”，最终精度都无法达标。

传统精密设备多以花岗岩作为底座和平台载体，稳定性高、成本可控，但到了纳米级，花岗岩的热膨胀系数和内部应力分布开始“不够用”。群科直驱的团队花了两年多时间，反复调整配方、测试工艺，最终转向加工难度更高的新材料。

“到了纳米级，环境变化带来的影响会被不断放大。”朱小瑞举了一个例子：此前调试高精度产品时，设备在厂内测试达标，到了客户现场，温差等环境条件发生变化，精度也会出现偏移。这意味着，达到目标精度只是第一步，如何让设备在长时间运行中始终保持稳定可靠，同样是一场硬仗。

为此，企业投入2000多万元建设百级无尘车间，购置国际先进的加工和测量设备，对平台进行反复校准验证，把影响精度的每一个环节尽可能“抠细”。

市场验证

精度达标，价格减半，周期缩短

技术攻关的成果，最终要接受市场的检验。目前，这款纳米级设备平台已提供给武汉一家头部半导体设备厂商，并通过实验室测试。在满足同等精度要求的情况下，群科直驱产品的交付周期可缩短至45—60天，价格约为国外同类产品的一半。

对于半导体设备厂商而言，这意味着一个更灵活、更具性价比的国产替代选项。这场向纳米级的进阶并非从零起步。2024年，群科直驱签约落户东北塘；2025年年底，公司正式投产。在厂房规划之初，企业就预留了约800平方米的恒温洁净空间，并逐步将研发力量向无锡集聚。

从直线电机、DD马达、精密大理石平台到完整的纳米级设备平台，群科直驱将多年积累的精密传动技术、装配经验以及对客户需求的理解，“串”成了一套完整的超高精密运动解决方案。

目前，企业正在围绕材料供应、工艺一致性、人才培养和客户验证等方面加快提升量产能力。研发中心已集聚近20名研发人员，并持续引进、培养高素质装配和检测人员。

属地服务

“外来技术人员能安下心来”

企业的“高精尖”攀登，离不开属地服务托底。厂房建设、人员招聘、人才公寓、员工子女入学、科技项目申报……自落户以来，东北塘街道围绕企业和人才需求提供全流程服务。“我们做的不是锦上添花，而是让外来技术人员能够真正安下心来。”街道相关负责人说。

这种“安心”对企业而言意义深远。半导体设备研发周期长、试错成本高，一支稳定的技术团队往往是决定项目成败的关键变量。朱小瑞透露了接下来的计划：推动200纳米级平台从技术突破迈向产业化，同时为50纳米级设备的研发做好技术储备。“在这个细分赛道上，我们还会继续向更高精度迈进。”朱小瑞充满信心地说道。

来源：无锡日报

记者：尹晖、袁林

图片：受访单位提供

编辑：房子