ASML突然出手！台积电果然就范，EUV光刻机基本上没悬念了

ASML这家公司，在全球半导体行业里就是独一份的存在。因为全球只有它能造EUV光刻机，全球最顶尖的芯片制造商台积电、三星、英特尔想要生产先进制程芯片，都得排队找它买设备。苹果的手机芯片、英伟达的AI芯片、AMD的服务器芯片，全都离不开ASML的这款机器。凭借这种独家地位，ASML这些年赚得盆满钵满。

目前ASML在售的Low-NA EUV光刻机，每台售价约1.5亿到2亿美元，全球累计卖出了几百台。而光台积电一家就囤了100多台EUV设备，贡献了ASML大约16%的营收。但最近，ASML遇到了一个头疼的问题，它最新推出的High-NA EUV光刻机卖不动了。

一台4亿美元的机器，连最大客户都不想买

为什么High-NA EUV买不到呢？这就有说说这款光刻机的售价了。一台High-NA EUV的售价高达4亿美元，约合人民币快30亿。这是什么概念？以前的EUV光刻机一台大约2亿美元，High-NA直接翻了一倍。目前一座先进芯片工厂的建设成本也就200到300亿美元，你一台光刻机就要4亿，20台就是80亿，这要算上厂房、人才和运营成本，芯片代工厂商岂不是要亏麻了。

虽然英特尔在2023年得时候买了一台High-NA EUV用于研究，并且2024年的时候又追加了一台。但英特尔在整个芯片代工市场的份额才多少？它买的这两台对ASML的销量来说远远不够。真正能让High-NA EUV大规模铺开的只有台积电，但台积电的态度非常明确，那就是不急着买。

台积电为什么不买？因为它觉得没必要

早些时候，台积电高管张晓强就公开表态：2029年前不会采购High-NA EUV光刻机用于量产，顶多买几台做研发。这位高管给出的理由很直接，那就是太贵了、不划算。其实这也不怪台积电不愿意买，目前台积电的Low-NA EUV光刻机加上多重曝光、掩模优化、良率提升这些组合拳，它的3nm工艺的良率已经从85%提升到了95%以上。2nm工艺的良率也达到了60%到70%之间，产能扩张速度超出预期。台积电认为，就算做到1.4nm、1.2nm，现有的Low-NA EUV也够用。

换句话说，台积电觉得自己的旧设备还能再战好几年，干嘛花4亿美元买一台新机器？而且台积电2026年的支出预计接近560亿美元，在这种烧钱速度下，每一分钱都得花在刀刃上。所以能用两台旧设备解决的问题，何必花四倍价钱买一台新的？

更关键的是，台积电是ASML最大的客户。过去ASML卖出去的EUV光刻机，台积电占了大约60%的采购量。台积电不买，High-NA EUV的销量就起不来。光靠英特尔和三星那点采购量，根本撑不起ASML对High-NA EUV的增长预期。

ASML急了，突然想出一招

面对台积电买得起却不想买的困境，ASML终于想出了一个破局的办法，那就是联合台积电，推动整个行业升级光掩模。9月7日，ASML和台积电宣布了一项全行业合作计划：把沿用了数十年的6英寸光掩模，升级到12英寸。

什么是光掩模？你可以把它理解成芯片制造的母版。光刻机用光照射这块母版，把上面的电路图案转移到硅晶圆上。现在的6英寸光掩模在制造12英寸晶圆的时候需要复杂的多重曝光和拼接流程，费时费力还费钱。

如果升级到12英寸光掩模，那么它得单次曝光面积可以扩大四倍，拼接需求大幅减少，设计流程更简单，制造效率大幅提升。为此，ASML高管给出了一组关键数字：如果12英寸光掩模技术成功实现，High-NA设备的产能有望提升约40%。40%的产能提升意味着什么呢？意味着虽然High-NA EUV设备贵了一倍，但单位产出也提高了将近一半，算下来性价比就没那么离谱了。

这就戳到了台积电的痛点，台积电不是嫌High-NA EUV技术不行，而是觉得投入产出比不够。如果产能提升40%，这笔账就能算过来了。果然，台积电的态度立刻松动了。台积电掌门人魏哲家就表示：台积电始终坚信合作的力量，能在技术壁垒演变为半导体行业的经济壁垒之前将其克服。同日，台积电宣布计划从2030年开始，在先进制程大规模生产中使用High-NA EUV。从4月份的2029年前不买，到9月份的2030年开始大规模用，不到半年，台积电得态度来了个180度大转弯。

不得不说，ASML这招确实高明

要我说，ASML不愧是全球最厉害的的光刻机厂商。它的High-NA EUV光刻机没有降价，它也没有等台积电回心转意。它的做法是联合台积电一起制定新标准，推动12英寸光掩模升级。新标准一旦落地，配套的High-NA EUV就成了刚需了。

这不是强迫你买，而是让你发现不买就亏了。台积电是商业公司，最终决定它买不买的不是技术情怀，而是投入产出比。当High-NA EUV的性价比被拉到一个合理的水平，台积电自然就范了。也正因为如此，有外媒才表示：EUV光刻机市场的格局基本上没有悬念了，High-NA EUV光刻机已经成为后摩尔时代不可或缺的设备。

半导体行业的游戏规则就是这样，越先进的设备越贵，越贵的东西越赚钱，越赚钱的玩家越有钱买更贵的设备。这个循环一旦形成，后来者想追赶就越来越难了。ASML突然出手，台积电果然就范了。EUV光刻机的未来，目前看来确实没什么悬念了。