为扶持民族产业，中国对日本化工品加征99%税率

9月7日中国商务部宣布，将对日本产的二氯硅烷征收最高达 99.2% 的临时反倾销税。

二氯硅烷主要用于半导体制造中的薄膜沉积工艺，主要用于芯片制造过程中的薄膜沉积，如外延膜、化硅膜、氮化硅膜、氧化硅膜和多晶硅膜等。广泛应用于集成电路的中外延膜，逻辑芯片、存储芯片、模拟芯片的制造。

全球高纯电子领域的二氯硅烷气体生产，主要被日本垄断。日本信越化学是全球半导体材料与硅氧烷领域的绝对龙头，在电子级二氯硅烷的技术纯度、稳定性和出货量上均处于国际领先地位。

除此之外，日本专业生产这一气体的供应商德纳尔，是中国进口高纯度二氯硅烷的主要供应商。在2022年时，日本产的二氯硅烷垄断了中国近80%的市场份额，哪怕经过中国政府大力扶持国产企业，2026年日企生产的高纯度气体仍然占中国60%左右的市场份额。

为了摆脱对日本高端气体材料的依赖，2015年中国提出的《高端制造2025》计划，明确提出要突破半导体关键材料的瓶颈，特种气体被列为重点攻关方向。将超高纯电子气体（包括硅烷、二氯硅烷、三氟化氮等）列为关键战略材料，鼓励本土企业开展国产化研发，打破日美垄断。

2016年之后，中国政府推出国家“02专项”科研基金，高纯二氯硅烷等核心化工气体的研发得到了“02专项”科研经费的直接拨款支持。在国家大科研资金的扶持下，中国科研机构通过“多级精馏+高效纯化+特殊吸附”技术，国产企业成功将二氯硅烷纯度从3N提升至5N甚至6N，首次打通了“提纯”的技术闭环。

经过六年的艰苦研究摸索，到了2022年之后，国内企业不仅能做出高纯气体，更攻克了批次稳定性、超痕量杂质分析、高纯包装容器等超高纯电子气体的工程化难题。

2023年开始，中国超高纯电子气体，比如二氯硅烷，六氟化钨等开始从实验室进入企业量产的环节。

三孚股份是国内最早打破国外垄断、实现高纯二氯二氢硅大规模产业化的标杆企业。三孚股份利用自身强大的氯硅烷化工基础，研发出多级精密偶合精馏工艺，成功将产品纯度提升至 6N级（99.9999%），金属杂质总量控制在 ppb（十亿分之一）级别以下。

到2025年，三孚股份的电子级二氯硅烷已稳定供应给国内多家12英寸核心晶圆厂，是目前国产替代的绝对主力，并已具备万吨级的年产能。

金宏气体则开发了专用低温吸附和催化纯化技术，能将气体中的微量水分和HCl压低至极限。同时，公司配置了先进的 ICP-MS（电感耦合等离子体质谱仪） 建立了一整套针对DCS的超痕量（ppt级）分析检测标准。

金宏气体研发的电子级二氯硅烷已成功通过多家集成电路及新型显示面板巨头的品质认证。

中船特气是军工国资背景的超高纯电子气体的龙头，作为中国船舶集团第七一八研究所孵化的企业，中船特气代表了国内电子特气的最高工程化水平。

在研发时，中船特气发现高纯二氯硅烷在运输和储存中，如果钢瓶内壁发生金属离子析出，纯度会瞬间降级。中船特气引入了航天级的材料控制经验，攻克了气瓶内壁EP（电化学抛光）及高稳定钝化膜技术，使得DCS在长达数月的存储中指标零波动。同时其生产线拥有极高的SPC控制精度。

到2026年，中船特气在三氟化氮、硅烷的基础上，将二氯硅烷作为核心配套产品，正加速向14nm及以下先进制程的集成电路客户进行大规模推销。

华特气体与宏芯气体则解决了超高纯电子气体的充装运输与工艺匹配。比如晶圆厂在使用二氯硅烷时，往往需要将其与氨气（\(NH_{3}\)）等精确混合以沉积氮化硅薄膜。华特和宏芯不仅解决了二氯硅烷单质的纯化，更在自动化无菌充装、防泄漏阀门设计以及特定工艺节点的配方混气上取得了多项专利，降低了晶圆厂的使用门槛。

这些中国企业用了接近10年时间，让超高纯电子气体的研发生产，在中国全面依赖日本，逐渐变成国产可替代，填补中国芯片时的气体问题。

在技术上，中国国产气体企业与日本，美国等传统巨头在工艺上的差距已经追平。比如中国本土头部企业（如三孚股份等）在实验室和中试阶段已经成功突破了 6N级（99.9999%纯度）的技术瓶颈，达到了与日本信越化学等巨头名义上相同的纯度标准。

具体工艺方面，中日在二氯硅烷等超高纯电子气体基础杂质剔除技术已无代差，但在针对先进制程极度敏感的特定微量杂质（如硼、磷、碳）的极限纯化工艺上，日本在多级精馏和低温催化技术上积累更深。

但令人遗憾的是，即便中国企业已经攻克超高纯电子气体的技术难关，却还是无法打破日本气体企业在中国的垄断局面。

造成这一困境的，主要是因为2022年，当日本信越化学等企业发现中国试图国产化电子气体，替代日本产品后，日本气体企业联手对新生的中国气体产业发动了联手围剿。

根据海关和商务部调查数据，在 2022 年至 2024 年期间，日本销往中国的二氯硅烷数量持续上升，价格却疯狂累计下跌达 31%。

日企利用已经折旧完毕的老产线和规模效应，故意打“价格战”，将价格压到国内新投产线的成本线以下，试图把中国早期的电子级特气幼苗“扼杀在摇篮里”，导致国内产品生产出来就面临亏本。

要知道，电子特气行业具有典型的“高固定资产投入、慢客户导入”特征。

二氯硅烷作为半导体核心材料，其验证周期通常长达 2 到 3 年。国内企业如三孚股份等斥巨资建成了高标准的 6N 级纯化产线，但在通过台积电、中芯国际等晶圆厂漫长的车间验证期间，产线往往只能低负荷运转（甚至产能利用率不足 20%）。

产线空转意味着无法形成规模效应，每年的设备折旧、高昂的检测设备（如 ICP-MS）维护费以及研发投入直接计入亏损，这让新生的中国气体企业根本无法承受。

2026年的海关数据显示，日本信越化学，德纳尔这些气体企业销往中国晶圆厂的高纯气体，到岸价折算后约为50/ 公斤左右。而新生的国产气体企业出厂价则达到了65 元 / 公斤。

日本企业出口中国的高纯电子气体，经过海运运费，关税，最后销售给中国半导体厂的报价，比中国自己本土生产的超高纯电子气体还要低！！

尤其中国气体企业刚起步，特种气体运输要求非常高，国内对于特种气体运输的产业链还不完善，导致每公斤气体的包装、运输、周转和安全合规成本畸高，进一步蚕食了本就微薄的国产出厂毛利。

中国国产工厂生产出来的气体没经过企业和时间验证，而且价格还比日本的高，这让新生的中国气体企业怎么和日本的气体龙头争夺市场？

无数中国半导体厂无论从成本，还是技术顾虑方面，都不敢大规模选择国产气体，这让中国民族芯片产业如何摆脱对日本高端气体的依赖，把日本企业赶出中国市场？

面对中国新生气体企业的困境，中国政府开始动用法律武器。

2025年9月，中国商务部正式对原产于日本的进口二氯硅烷发起反倾销立案调查。

经过一年的调查，到2026年9月7日，中国政府认定日本企业在高端气体领域打价格战，向中国低价倾销。中国商务部发布最终裁定，判定日本进口二氯硅烷存在倾销并对国内产业造成实质损害。自 2026年9月8日起，海关正式向信越化学、德纳尔硅烷等日本巨头征收 80.8% 至 99.2% 的高额反倾销保证金。

在商务部高达99%的关税裁决落地后，日本向中国销售的高端气体价格翻了不止一倍，日本 二氯硅烷完税+保证金后的成本，大约 飙升到100 - 160 元 / 公斤。而中国企业的出厂成本依然是65元/ 公斤。

商务部的新规定，让国产企业的价格终于降到了日本的二分之一还低，中国企业首次对日本信越化学等龙头形成价格优势。

虽然这种价格优势只局限于中国市场，但也足以让新生且脆弱的中国高端气体企业，依靠庞大的国内市场走出发展壮大的第一步。

而且，中国政府为了扶持民族企业，做的远不止这些。

为了新生的国产气体铺路，中国政府推出扶持政策，工信部推出《首批次应用示范指导目录》，国内的半导体厂家如果采购国产气体，可以享受国家的首批次应用保险补偿，国家用财政资金为晶圆厂试用国产气体的风险“买单”，有效打消了国内半导体产业对国产高端气体质量的顾虑。

中国政府的扶持逻辑是：先给钱研发（02专项）—— 再给税收优惠（8号文） ——接着帮找客户（首批次补偿） —— 最后用反倾销扫清海外恶性竞争（2026年反倾销）。这一套组合拳在2026年9月商务部反倾销法案出台后正式闭环，国产高端电子气体产业接下来将迎来黄金成长期。