北京
国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“半导体工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，授权公告号CN224728617U，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，本申请公开一种半导体工艺腔室及半导体工艺设备，所公开的半导体工艺腔室包括腔室本体和第一传输管道，其中：腔室本体具有相互连通的内腔和开口，第一传输管道设于内腔中，第一传输管道用于将流体源中的工艺流体输送至内腔中，第一传输管道包括相连的传输段和输出段，传输段的至少部分从开口朝着远离开口的方向延伸，输出段设有用于向内腔中输出工艺流体的输出孔。上述方案能解决相关技术涉及的半导体工艺腔室存在进入内腔的工艺流体难以被充分加热导致容易影响工艺效果的问题。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1500次，财产线索方面有商标信息75条，专利信息5937条，此外企业还拥有行政许可341个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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