国家知识产权局信息显示,华虹半导体(无锡)有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、华虹半导体制造(无锡)有限公司申请一项名为“改善窄节距IGBT栅极电阻一致性的方法及IGBT器件”的专利,公开号CN122699325A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明公开了一种改善窄节距IGBT栅极电阻一致性的方法,制备所述IGBT多晶硅栅极时,包括以下步骤:在多晶沉积站点采用Double pitch方式进行多晶沉积;在多晶回刻站点与多晶沉积退火站点之间,增加超级扫描磷离子注入工艺;所述超级扫描磷元素注入根据晶圆VF测试的典型map图,对晶圆中心与边缘区域进行区域性磷元素补偿注入,调节多晶中磷元素掺杂浓度均匀性。本发明能显著提升栅极电阻片内一致性,使阻值离散小于±10%,进而降低Eon波动和并联温升差异。
天眼查资料显示,华虹半导体(无锡)有限公司,成立于2017年,位于无锡市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体(无锡)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目2951次,专利信息2143条,此外企业还拥有行政许可119个。
上海华虹宏力半导体制造有限公司,成立于2013年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析,上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目944次,财产线索方面有商标信息39条,专利信息7934条,此外企业还拥有行政许可465个。
华虹半导体制造(无锡)有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析,华虹半导体制造(无锡)有限公司参与招投标项目378次,专利信息270条,此外企业还拥有行政许可234个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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