北京
国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“一种薄膜生长设备的腔室清洁终点判断方法及检测系统”的专利，公开号CN122689695A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明公开了一种薄膜生长设备的腔室清洁终点判断方法及检测系统，其中腔室清洁终点判断方法，包括：获取特征气体峰值浓度C和特征气体到达峰值的时间T；根据特征气体峰值浓度C和时间T标定正式清洁的参数；根据标定的参数对工艺腔室进行正式清洁；监测正式清洁产生的特征气体，获取信号质量因子Q；设定标准值G；将信号质量因子Q与标准值G进行比较，判定清洁结果。检测系统包括半导体薄膜生长设备工艺腔室、尾气排放管路和检测装置；检测装置设于尾气排放管路以实时检测特征气体的浓度。本发明能够克服现有清洗方法无法在清洁前量化污染负荷、清洗过程中缺乏自适应抗干扰能力的问题。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本319.4745万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息138条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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