拓荆科技董事长吕光泉：二十年归国路，他替中国芯片盖起了自己的房子丨【商业人物档案】

《商业人物档案研究组》

2026年夏天，一份半年报让市场重新审视一家名字拗口的设备公司。营业收入29.13亿元，同比增长49.06%；归母净利润13.43亿元，同比暴增逾十三倍。数字背后，是一台台被叫作PECVD的机器——芯片制造里负责“盖房子”的关键设备。掌舵这家公司的，是一个在硅谷与德国实验室泡了整整二十年的归国博士。他的故事，是中国半导体设备从被人卡脖子到自己造锤子的缩影。

一、加州的海风，吹不动一颗想回来的心

1965年出生的吕光泉，拿的是美国加州大学圣地亚哥分校的博士文凭。从1994年到2014年，他在大洋彼岸待了二十年。头两年，他在美国国家科学基金会旗下的尖端电子材料研究中心做副研究员；随后进入半导体设备巨头诺发，从高级工程师一路做到PECVD工艺研发部经理、项目主任兼工艺研发高级经理，再到ALD技术高级经理；2007年，他又转投德国爱思强在美国的部门，坐到了工程技术副总裁的位置。那是全球半导体设备最黄金的二十年，应用材料、泛林半导体、东京电子三巨头把薄膜沉积设备的天下分得干干净净，一台进口设备动辄数百万美元，中国企业连看一眼核心参数的资格都没有。吕光泉站在产业链的顶端，却始终是个旁观者——他参与定义别人的设备，却从没机会定义自己的。他见过最先进的机器长什么样，也清楚中国晶圆厂被卡住的是哪一根神经。

二、四十九岁那年，他接过了一家沈阳公司的舵盘

2014年9月，年近五旬的吕光泉做了一个让美国同事费解的决定：回国。他要去的，是沈阳一家成立仅四年的初创企业——拓荆科技。这家公司的起点很不寻常：由中科院沈阳科学仪器研制中心与一批半导体归国人才联合发起，瞄准的是最难的薄膜沉积设备。吕光泉不是来当职业经理人的，他带回的是在诺发、爱思强积累的二十年工艺功力，和一套对PECVD设备从原理到量产的完整理解。他先后出任技术总监、总经理，最终坐上董事长之位，把自己押进了一家前途未卜的中国小厂。彼时的拓荆，规模小得可怜，连一台能稳定交付的样机都还没有，账上的钱只够发几个月的工资。很多人问他值不值，他没解释，只是把行李落在了沈阳。在美国，他本可以安稳干到退休，拿着期权安度晚年；选择沈阳，等于把前半生攒下的所有筹码，押进了一场胜负未卜的豪赌。

三、第一台十二英寸设备的突围

薄膜沉积被称为给芯片"盖房子"——在硅片上交替堆叠成百上千层薄膜，任何一层不平整，整块晶圆就废了。在拓荆成立之前，这道工序几乎被外资百分百垄断，国产设备连入场券都拿不到。2011年，拓荆实现十二英寸PECVD设备的技术突破，样机被送往中芯国际做产品验证；到2013年5月，首台设备完成销售，国产PECVD第一次真正走进一线晶圆厂。这不是一蹴而就的运气。公司先后承担国家"02专项"的PECVD设备研发任务，把实验室里的图纸一点点磨成产线上的良率。首台12英寸PECVD设备出厂前，已完成了3000片工艺测试和10000片可靠性测试。最难的时候，团队几度面临解散，又被重新聚拢起来。创业之初的拓荆，面对的是一个对国产设备几乎没有概念的市场，找资本、找客户都异常艰难，没有哪个客户会轻易把产线交给一台没经过时间检验的国产机器，拓荆只能一遍遍跑、一遍遍改，每一步都靠硬扛过来。没有人相信一台国产机器能替代进口，拓荆就用一次比一次更高的良率，把怀疑一个个压了下去。

四、从流片一万片到五强之列

2015年，拓荆迎来真正的转折点。其核心设备PF-300T在中芯国际产线上累计流片量突破一万片，这意味着国产设备第一次通过了规模化生产的可靠性拷问；同年，国家集成电路产业投资基金伸出战略投资之手。此后的拓荆像被按下快进键：设备先后导入中芯国际、长江存储、华虹集团、长鑫科技等头部晶圆厂，覆盖从成熟制程到先进存储的多条产线。凭借稳定的表现，拓荆多次跻身中国半导体行业协会评选的"中国半导体设备五强"。2022年4月，公司登陆科创板，发行价71.88元/股，从一家沈阳小厂，变成资本市场紧盯的国产替代样本，市值也在数年之间从不足百亿攀升至千亿量级。从沈阳科仪的一间实验室，到上海、海宁、青岛的多个基地，拓荆把根系扎进了产业链的深处。当年那间靠借钱发工资的小作坊，终于长出了与世界巨头同台竞技的底气。

五、十三倍增长背后，是二十年磨一剑

支撑这份半年报的，是AI算力与先进存储扩产带动的设备需求，以及拓荆在PECVD、ALD、混合键合等多条产品线的全面放量。从2014年吕光泉归国接舵，到如今站上千亿市值的舞台，这家公司用十二年走完了别人或许要三十年的路。但故事远未结束——应用材料、泛林、东京电子仍握着全球大部分份额，国产替代的长跑才刚过半程。吕光泉要替中国芯片盖的"房子"，还差最后几层。2024年12月，因工作内容调整，他不再被认定为核心技术人员，但仍以董事长身份掌舵公司方向。当算力成为全球竞速的弹药，这台"盖房"机器的每一次迭代，都不再只是一家公司的胜负，而是一个产业能否挺直腰杆的注脚。时间站在了自主可控这一边，也逼着他比任何时候都跑得更快。

这里是《商业人物档案》，我们下期继续拆解商业背后的人性、格局与命运。

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