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观点网讯:9月1日,阿斯麦官方透露,其High NA EUV平台首次应用于高产量逻辑芯片生产,标志着0.55 NA光刻技术从认证阶段正式迈入生产应用环节。这是High NA EUV技术首次进入高产量逻辑芯片量产环节。
该平台对应的光刻技术为0.55 NA。此次进展意味着0.55 NA光刻技术完成了从认证阶段到生产应用的跨越,技术路径由验证走向实际量产。
阿斯麦是全球高端光刻设备的核心供应商,主导EUV技术的商业化进程。业内普遍认为,该技术突破将有望支撑更先进制程芯片的大规模生产。
不过,此次应用目前仅针对特定高产量逻辑芯片,尚不代表该技术在全行业普遍落地。从认证到量产之后,该技术在实际产能爬坡与良率提升等方面仍可能面临后续挑战,全球芯片制造厂商的导入节奏与高端芯片产能、制程升级的实际进展,仍有待观察。
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