上海
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近日，国内某半导体装备企业自主研发的350nm步进投影光刻机通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证，并获得批量重复采购订单，从首台设备发运到获得批量订单仅用时9个月。该设备属于化合物半导体专用光刻设备环节，关键零部件与软件控制系统均实现100%自主可控，稳定实现350nm分辨率，兼容碳化硅、氮化镓、砷化镓等多种衬底材料，主要服务于功率器件、射频前端、光电子芯片等产线。该设备的批量交付，填补了第三代半导体量产线对国产中高端光刻设备的供给缺口。
南方基金郑晓曦关注半导体产业链投资机遇。她管理的南方信息创新混合持仓聚焦科技自立自强，其2026年度二季报显示，其前十大重仓股中包括精测电子、华海清科、华虹宏力等拥有领先技术的国产半导体产业链龙头企业。另一只产品南方半导体产业股票则深耕半导体芯片产业，尤其是光刻机模块，其2026年度二季报显示，其前十大重仓股中包括芯源微、波长光电等国产核心企业。
南方信息创新混合（A 类：007490/C 类：007491）
南方半导体产业股票发起（A 类：020553/C 类：020554）
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