北京
国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司申请一项名为“化学气相刻蚀方法”的专利，公开号CN122662598A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，一种化学气相刻蚀方法，方法包括：在执行化学刻蚀之前，向刻蚀腔室通入氟化氢和氨气以进行腔室预处理，以使刻蚀腔室的内壁表面对氟化氢和氨气的吸附与解吸达到动态平衡，腔室预处理满足以下条件中的至少一项：预处理压力高于化学刻蚀所采用的刻蚀压力、预处理氟化氢流量高于化学刻蚀所采用的氟化氢流量、预处理氨气流量高于化学刻蚀所采用的氨气流量；在进行腔室预处理之后，在刻蚀压力、氟化氢流量和氨气流量下，对表面具有待刻蚀氧化层的晶圆执行化学刻蚀。本发明所提供的化学气相刻蚀方法在不调整刻蚀腔室硬件配置的前提下，提高了不同刻蚀腔室之间化学刻蚀工艺的一致性和稳定性。
天眼查资料显示，宸微设备科技（苏州）有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3157.8947万人民币。通过天眼查大数据分析，宸微设备科技（苏州）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息120条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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