芯碁微装取得板材输送机构相关专利，该机构保障板材输送与机械臂抓取顺畅

来源：新浪证券-红岸工作室

8月27日消息，国家知识产权局信息显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“一种用于机械臂抓取的板材输送机构”的专利，授权公告号CN118419593B，授权公告日为2026年8月25日。申请公布号为CN118419593A，申请号为CN202410689878.4，申请公布日期为2026年8月25日，申请日期为2024年5月30日，发明人康站力、徐欣、李香滨，专利代理机构合肥天明专利事务所（普通合伙），专利代理师娄岳，分类号B65G49/06、B65G13/06。

专利摘要显示，本发明公开了一种用于机械臂抓取的板材输送机构，包括输送组件，该输送组件包括传动轴，该传动轴的外周面的相切面形成输送面；上压滚轮组件，该上压滚轮组件为平行四边形框架，上压滚轮组件包括上压滚轮，该上压滚轮的轴线处端面与输送面垂直；板材，该板材与传动轴、上压滚轮相切。本发明通过设置的旋转伸缩气缸带动连接杆转动，连接杆带动可调节摆臂相对远离，可调节摆臂又与滚轮安装板转动连接，使得上压滚轮组件为边可转动的平行四边形框架，使得安装在滚轮安装板上的上压滚轮在旋转伸缩气缸的带动下能够远离板材后离开板材上方空间，使得吸盘能够抓取板材，也可以与纠偏轮一起挤压板材，使得板材弯曲部分贴紧纠偏轮，提高输送稳定性。

芯碁微装是国内直写光刻设备领域领先企业，专注微纳直写光刻相关设备研发制造，具备全产业链布局优势。公司成立于2015年6月30日，于2021年4月1日在上海证券交易所上市，注册地为安徽省，办公地跨安徽省与香港特别行政区。

芯碁微装主营业务围绕微纳直写光刻技术核心，开展直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售与配套维保服务，产品覆盖PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统等品类，功能覆盖微米到纳米级多领域光刻环节，所属申万行业为机械设备-专用设备-其他专用设备，同时布局半导体设备、光刻胶、光刻机三大热门概念板块。

2026年上半年，芯碁微装实现营业收入11.06亿元，在所属行业73家企业中排名第16位，高于行业平均8.94亿元、行业中位数4.38亿元的水平，同期行业营收前两位分别为科达制造103.92亿元、大族数控49.85亿元；当期公司实现净利润2.81亿元，行业排名第5/73，远超行业平均8256.52万元、行业中位数2734.04万元，行业净利润前两位分别为科达制造19.73亿元、大族数控9.69亿元。营收结构中，激光直写成像设备贡献11.02亿元，占比达99.65%，其余补充类业务收入382.92万元，占比0.35%。

指标类别 具体指标 芯碁微装2026年上半年数值 行业对比情况 营收表现 营业收入 11.06亿元 行业排名16/73，高于行业均值8.94亿元、中位数4.38亿元，前两名分别为科达制造103.92亿元、大族数控49.85亿元 营收构成 激光直写成像设备收入 11.02亿元 占总营收比重99.65% 营收构成 其他补充业务收入 382.92万元 占总营收比重0.35% 利润表现 净利润 2.81亿元 行业排名5/73，远超行业均值8256.52万元、中位数2734.04万元，前两名分别为科达制造19.73亿元、大族数控9.69亿元

合肥芯碁微电子装备股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种基于激光干涉仪闭环反馈的工件台位置误差补偿方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610613836.12026-05-07CN122467969A2026-07-28卞洪飞、李嘉杰、高天、安刚辉、孙玉涛、戴晓霖2一种直写式光刻机高阶灰度曝光控制方法、装置发明专利公布CN202610354092.62026-03-23CN122449850A2026-07-24王超、周明如、谢鹍3基于拼板的曝光台面标定方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610313547.X2026-03-16CN122110620A2026-05-29张辉、张润晨、叶加良、陈东4玻璃基板激光打标工作台发明专利实质审查的生效、公布CN202610219521.92026-02-24CN121848002A2026-04-14叶飞5直写式光刻机及扫描曝光方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610146096.52026-02-02CN121900112A2026-04-21徐从浩、赵美云6一种改善PCB油墨色差的多次曝光偏移方法及介质发明专利实质审查的生效、公布CN202610107704.12026-01-27CN121763669A2026-03-31孟鑫瑞、贾威强7直写式光刻机及其曝光同步诊断方法和信号同步处理单元发明专利实质审查的生效、公布CN202610093213.62026-01-23CN121763668A2026-03-31徐从浩、童诚、王振亚8一种用于印刷电路板PCB的检测方法及系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610020506.12026-01-08CN121784849A2026-04-03章晋凡、刘鑫、沈古飞、焦官华9基于提前测距的动态追焦光学测量系统、方法及设备发明专利实质审查的生效、公布CN202512001839.82025-12-29CN121741698A2026-03-27谢鹍、张润晨、石庆林10一种可折展的压紧机构及LDI设备实用新型授权CN202520797048.32025-04-24CN224005412U2026-03-17汪志全、梁旭11一种对并排印刷电路板侧边区域形成八边压紧的压紧装置及LDI设备实用新型授权CN202520797055.32025-04-24CN224319777U2026-06-02汪志全、梁旭12光学测距装置和激光直写曝光机发明专利实质审查的生效、公布CN202510416740.12025-04-03CN120293010A2025-07-11徐剑锋、穆璐、姜蔚然13激光加工装置和激光加工系统发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202510309673.32025-03-17CN120095316A2025-06-06刘孟辉、赵尚州14用于无掩模板直写光刻曝光机的吸盘电势监控系统及直写光刻曝光机实用新型授权CN202520419485.12025-03-11CN224020147U2026-03-20葛星雨、朱会敏、曹桂林、卢小齐、孙文彪15吸附组件及具有其的曝光装置发明专利实质审查的生效、公布CN202510276930.82025-03-10CN119987158A2025-05-13叶飞、程刚、项宗齐、汪涛16吸附组件及具有其的曝光装置实用新型授权CN202520372061.42025-03-05CN223692643U2025-12-19于成信17LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机发明专利授权CN202510225750.72025-02-27CN119805889B2025-11-28赵祥宝、蔡志鸿18LDI曝光机的对位方法和LDI曝光机发明专利授权CN202510224817.52025-02-27CN119805888B2026-04-10赵祥宝、郑超、朱远哲、高晓锋19一种抖动分板装置实用新型授权CN202520211748.X2025-02-11CN223792483U2026-01-13陆原、束义、刘汉云20应用于直写光刻机的纠偏对位方法及装置、介质和光刻机发明专利授权CN202510148769.62025-02-11CN119805879B2026-04-03王克、程建高21一种双台面曝光机实用新型授权CN202520171673.72025-01-25CN223796823U2026-01-13于成信22一种曝光面剂量修正系统实用新型授权CN202520171669.02025-01-25CN223796822U2026-01-13李志豪、董邦林、穆璐、宋照爱23一种插框自动收放板装置发明专利授权CN202510120189.62025-01-25CN119822052B2026-03-13焦官华、陆原、束义、刘汉云24一种插板夹持装置发明专利授权CN202510120188.12025-01-25CN119822051B2026-03-17陆原、焦官华、束义、刘汉云25运动曝光工作台、曝光系统和曝光的控制方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510110128.12025-01-23CN119644681A2025-03-18李辉26运动曝光工作台及具有其的曝光系统实用新型授权CN202520160598.42025-01-23CN223911162U2026-02-13李辉27基于偏转镜实现光束分束及调控的激光并行加工设备实用新型授权CN202520083435.02025-01-14CN223932816U2026-02-24刘孟辉28激光钻孔独立动态调控的多AOM级联设备实用新型授权CN202520083520.72025-01-14CN223932871U2026-02-24刘孟辉29提升UV激光钻孔加工工艺的激光钻孔设备发明专利授权CN202510057567.02025-01-14CN119794623B2026-07-17刘孟辉、赵尚州30激光二极管的散热装置、高功率半导体激光器及组装方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510016572.72025-01-06CN119994629A2025-05-13刘亮、杨凯31一种半导体空间光激光器镜片的调试工装及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202510016571.22025-01-06CN120002560A2025-05-16刘亮、杨凯32激光器外壳及半导体空间光激光器实用新型授权CN202520025368.72025-01-06CN223797724U2026-01-13刘亮、金伟龙、杨凯33曝光装置实用新型授权CN202423309294.42024-12-31CN223566032U2025-11-18叶飞34应用于光头底板的散热机构及其曝光机实用新型授权CN202423314307.72024-12-31CN223712003U2025-12-23张文龙、梁旭35直写式光刻机曝光控制方法及装置、介质和直写式光刻机发明专利实质审查的生效、公布CN202411904595.32024-12-23CN119556532A2025-03-04王超、梅文辉、赵美云、邵德洋36自动上下料装置实用新型授权CN202423178878.22024-12-23CN223572237U2025-11-21张亮、赵尚州、李辉、岳览37吸附总成及具有其的光刻装置发明专利实质审查的生效、实质审查的生效、公布CN202411726109.32024-11-28CN119511647A2025-02-25侯庆伟、汪涛38提高无掩膜光刻机曝光功率密度的装置、方法及光刻机发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202411720670.02024-11-28CN119292005B2025-10-10卞洪飞、张辉、叶加良、陈东39基于空间光调制的双波段激光图形化微纳制造装置及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202411700772.62024-11-26CN119387805A2025-02-07张辉、卞洪飞、叶加良、陈东40夹取装置实用新型授权CN202422891408.42024-11-26CN223385416U2025-09-26李冬青、李香滨、焦官华、徐欣41一种真空吸附固定式晶圆载台实用新型授权CN202422718008.32024-11-06CN223598699U2025-11-25于成信42夹紧总成及具有其的光刻装置实用新型授权CN202422674996.62024-11-04CN223666547U2025-12-12王历先、梁旭、张文龙43一种能够快速更换过滤器的风机过滤装置实用新型授权CN202422675578.92024-11-01CN223425389U2025-10-10程强44曝光总成及具有其的光刻设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411543995.62024-10-31CN119126500A2024-12-13张浩为、刘孟辉、武林45一种用于LDI设备的气动遮光装置实用新型授权CN202422670377.X2024-10-31CN223401139U2025-09-30张文龙46一种用于DMD芯片散热的水冷系统实用新型授权CN202422670371.22024-10-31CN223598092U2025-11-25张文龙、梁旭、王历先47单台面LDI曝光机外观专利授权CN202430676628.82024-10-25CN309380230S2025-07-11王历先、项宗齐、梁旭48FPD边缘曝光打码设备外观专利授权CN202430676627.32024-10-25CN309385911S2025-07-15程强49高效单机双面曝光设备发明专利实质审查的生效、公布CN202411492573.02024-10-24CN119200348A2024-12-27曲鲁杰、程刚50高效单机双面曝光设备实用新型授权CN202422576617.X2024-10-24CN223217782U2025-08-12曲鲁杰、程刚