北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于沉积过渡金属碳化物的方法和系统”的专利，公开号CN122629452A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本公开涉及用于通过循环沉积过程在衬底上沉积含过渡金属碳化物材料的方法和设备。该方法包括在反应室中提供衬底，以气相将过渡金属前体提供到反应室中；以及以气相将第二前体提供到反应室中以在衬底上形成含过渡金属碳化物材料。第二前体包含环二烯化合物，其包括包含准金属的取代基。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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