北京
国家知识产权局信息显示，中科山海微（杭州）半导体技术有限公司申请一项名为“光学反射镜调节结构、光学反射镜模组及光刻设备”的专利，公开号CN122613553A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种光学反射镜调节结构、光学反射镜模组及光刻设备，涉及光学仪器技术领域；光学反射镜调节结构包括安装底座、反射镜安装座、压电驱动传感单元、控制单元，反射镜安装座用于安装光学反射镜；反射镜安装座与安装底座连接；压电驱动传感单元用于设置在底面平台，压电驱动传感单元具有输出端和传感元件，输出端用于驱动安装底座移动；传感元件用于检测输出端与安装底座之间的接触状态或预紧力；控制单元与压电驱动传感单元电连接，控制单元用于根据传感元件的检测信号，闭环控制输出端的输出，以对安装底座施加预紧力，并使预紧力维持在预设数值范围内。本发明通过控制单元对压电驱动传感单元的闭环控制，实现预紧力的动态调节。
天眼查资料显示，中科山海微（杭州）半导体技术有限公司，成立于2024年，位于杭州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本600万人民币。通过天眼查大数据分析，中科山海微（杭州）半导体技术有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息3条，专利信息13条。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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