国家知识产权局信息显示,北京和崎精密科技有限公司申请一项名为“一种立式炉门的洁净传动机构”的专利,公开号CN122622612A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种立式炉门的洁净传动机构,属于半导体制造设备技术领域。该洁净传动机构主要包括升降驱动装置、柔性多腔室排管装置和负压清洁装置,柔性多腔室排管装置一端与炉门机构固定连接,另一端为固定引出端,采用热塑性聚氨酯材料一体成型,内部设有多个独立的腔室,分别容纳连接至炉门机构的各类随动管线,负压清洁装置与固定引出端连通,可在每个腔室内建立全程指向固定引出端的定向负压气流。工作时,随动管线摩擦产生的颗粒物在生成瞬间即被原位捕获,沿独立腔室定向输送后集中排出。本发明解决了传统拖链结构易产尘且颗粒物易逸散污染工艺环境的问题,可显著提升半导体立式炉设备内部洁净度,保障晶圆加工良率。
天眼查资料显示,北京和崎精密科技有限公司,成立于2016年,位于北京市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本5800万人民币。通过天眼查大数据分析,北京和崎精密科技有限公司参与招投标项目4次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息117条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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