北京
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国家知识产权局信息显示，TES股份有限公司申请一项名为“喷头加热器以及基板处理装置”的专利，公开号CN122602805A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本发明涉及一种喷头加热器以及基板处理装置，更详细地涉及一种当执行对大面积基板的干式蚀刻工艺时可以在单个腔体中全部执行基板的蚀刻以及后处理步骤的喷头加热器以及基板处理装置。喷头加热器具备：喷头板，形成有多个贯通孔；以及印刷加热器，设置于所述喷头板的上面以及下面中的至少一侧。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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