国家知识产权局信息显示,上海曜感科技有限公司申请一项名为“一种三维堆叠微系统模组及其集成方法”的专利,公开号CN122579947A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本发明公开了一种三维堆叠微系统模组及其集成方法,该集成方法包括步骤:S1:提供一母芯,所述母芯具有上表面和下表面,在所述母芯的上表面设置有第一焊垫;S2:在所述母芯内部形成至少一穿通所述母芯的冷却通道;S3:在所述母芯的上表面形成键合体;S4:提供一子芯,所述子芯的有源面上设置有第二焊垫;S5:将所述子芯通过所述键合体机械固定于所述母芯的上方,使第一焊垫与第二焊垫相对设置;S6:在第一焊垫与所述第二焊垫之间形成垂直金属互连体,使子芯与母芯电性互连。本发明键合片体分区提供机械支撑与散热,提高了工艺容差和异构集成能力,同时避免了复杂的后互连工艺,实现了高密度、高可靠性的晶圆级三维集成。
天眼查资料显示,上海曜感科技有限公司,成立于2024年,位于上海市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本24.9221万人民币。通过天眼查大数据分析,上海曜感科技有限公司财产线索方面有商标信息3条,专利信息43条。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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