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亚曼光电取得蓝宝石衬底光刻机衬底吸附装置专利,便于快速对真空吸盘进行拆卸

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国家知识产权局信息显示,上海亚曼光电科技有限公司取得一项名为“一种蓝宝石衬底光刻机衬底吸附装置”的专利,授权公告号CN224636749U,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,本实用新型涉及光刻机技术领域,且公开了一种蓝宝石衬底光刻机衬底吸附装置,包括底座,所述底座上设置有移动机构,所述移动机构上设置有拆装机构,所述拆装机构上设置有真空吸盘,所述拆装机构包括固定板和固定架,所述固定架固定安装在固定板上,所述固定架上设置有拉杆,所述拉杆上固定安装有插板。本实用新型通过需要对真空吸盘进行拆卸维护时,使用者可通过拉把拉动拉杆,使其插板从真空吸盘底部的定位板内被抽出,此时定位板失去插板的定位,真空吸盘可直接从固定板上取下,便于快速对真空吸盘进行拆卸,提高了对真空吸盘的维护效率。

天眼查资料显示,上海亚曼光电科技有限公司,成立于2016年,位于上海市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本520万人民币。通过天眼查大数据分析,上海亚曼光电科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目6次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息27条,此外企业还拥有行政许可3个。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员

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