北京
国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“具有可变配置能量分析器的质谱装置及其控制方法”的专利，公开号CN122552425A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体检测技术领域，公开了一种具有可变配置能量分析器的质谱装置及其控制方法。本发明通过可变狭缝机构、电极系统和工作方式切换控制器之间的配合，使同一台质谱装置能够在宽能量采集、高灵敏度和窄通带、高能量分辨的两种工作方式之间灵活切换，解决现有固定参数能量分析器无法兼顾不同分析任务需求的矛盾。通过预存储目标工作方式参数组和并行控制策略，使所有工作方式下的参数都提前计算并校准好，在切换工作方式时直接调用，无需实时计算；同时对狭缝宽度、各个电极的输出电压和离子源组件的工作状态同时调整，从而有效降低工作方式切换的时间，使得工作方式切换时间可控制在设定时间以内，满足工艺过程中在线实时切换的需求。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本319.4745万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息128条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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