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海乾半导体申请超晶格结构4H-SiC外延层及其制备方法专利,完美保持4H-SiC晶型

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国家知识产权局信息显示,杭州海乾半导体有限公司申请一项名为“一种超晶格结构4H-SiC外延层及其制备方法”的专利,公开号CN122555206A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本发明公开了一种超晶格结构4H‑SiC外延层及其制备方法,其超晶格结构4H‑SiC外延层为硼/铝共掺超晶格外延结构;制备方法,包括以下步骤:S1、衬底准备:选取P型外延单晶片作为衬底,并将其置于CVD反应室中;S2、反应室环境设置:将反应室温度升至1500‑1650℃,压力控制在100‑500 mbar的低压范围内;S3、源气体通入:向反应室中通入硅源气体和碳源气体,作为生长SiC外延层的基础反应物;S4、超晶格结构生长:交替引入硼源气体和铝源气体;最终在衬底上形成所需的硼/铝共掺超晶格外延结构。通过B掺杂层与Al掺杂层交替生长获得超晶格外延结构,在获得超高Al掺杂浓度的同时,完美保持了4H‑SiC晶型。

天眼查资料显示,杭州海乾半导体有限公司,成立于2022年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本600万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州海乾半导体有限公司参与招投标项目8次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息12条,此外企业还拥有行政许可3个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

本文源自:市场资讯

作者:情报员

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