北京
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国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“具有可置换顶部的轻量高刚性卡盘”的专利，公开号CN122536292A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，一种用于固定衬底的设备包含经配置以可逆地附接到卡盘的基座的可拆卸板。共同流体路径的一或多个部分被共享用于接收空气(例如，冲洗空气)，且用于形成第一真空密封及第二真空密封。所述卡盘的所述基座包括一或多个基座‑衬底入口通道及一或多个基座‑板入口通道。所述可拆卸板包含一或多个第一贮器及第二贮器，且经配置以在所述一或多个第一贮器与所述基座‑板入口通道之间建立流体连接，用于在所述可拆卸板与所述基座之间形成第一真空密封。所述可拆卸板包含贯通通道，所述贯通通道用于与所述一或多个第二贮器流体连接以在所述可拆卸板与衬底之间形成第二真空密封。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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