产品填补国内空白 这家等离子体“小巨人”瞄准科创板！

文 I 汪佳蕊

根据QYReasearch统计，2025年，神州股份在中国等离子体电源系统技术支持服务市场中的市场份额排名第一。

上交所官网显示， 国内头部等离子体电源系统供应商江苏神州半导体科技股份有限公司（以下简称“神州股份”）的科创板IPO申请已获上交所受理， 目前已进入IPO问询阶段，保荐机构为国泰海通证券。

根据QYResearch统计，2025年中国半导体领域远程等离子体源系统的国产化率不足7%，而神州股份2025年在中国等离子体电源系统技术支持服务市场中的份额排名第一， 该市场的主要竞争对手系MKS、AE等国际原厂的技术支持服务部门。

图1：神州股份IPO审核项目动态

来源：上交所官网

自研产品填补了国内空白

神州股份成立于2016年，总部位于江苏扬州，主要从事半导体关键工艺设备核心零部件的研发、生产、销售和技术支持服务。神州股份的主要产品为等离子体电源系统，包括离子体射频电源系统、远程等离子体源系统、高压脉冲电源系统等，并为芯片产线提供相应技术支持服务。

等离子体是自然界中区别于固、液和气三态的物质第四态，由带电粒子、中性粒子及自由基等组成，能够实现半导体制造所需的较为理想的工艺效果。等离子体源技术是实现半导体芯片先进制程的必要技术手段，被广泛应用在半导体、光伏、显示面板、光学镀膜、医疗器械和科研仪器等领域。

作为半导体领域的核心零部件，等离子体电源系统国产化率较低，市场主要被美国、日本等国际半导体企业占据， 根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%；根据QYResearch统计，2025年中国半导体领域远程等离子体源系统的国产化率不足7%，是我国亟待实现自主可控的重点领域之一。

在半导体等离子体电源系统领域，神州股份是中国产品布局最全面、技术最先进、服务最完善的企业之一，由其自研的多款等离子体电源系统产品已填补国内高端等离子体电源系统的应用空白。

图2：神州股份半导体设备等离子体电源系统产品矩阵图

来源：招股书

在自研产品方面，神州股份的主要产品包括等离子体射频电源系统、远程等离子体源系统、高压脉冲电源系统等，目前已批量导入中微公司、拓荆科技、北方华创等国内头部半导体设备厂商，可适配14纳米及以下逻辑芯片、2XX层及以上存储芯片等先进制程产线。

在技术支持服务方面，神州股份已发展成为国内规模领先的等离子体电源系统专业技术支持服务商。目前，其技术支持服务已覆盖台积电、英特尔、三星电子、SK海力士、美光科技、德州仪器、华润微等国内外主流芯片产线，以及应用材料、中微公司、拓荆科技、北方华创等半导体设备厂商。

根据招股书披露，神州股份系国家高新技术企业、国家级专精特新重点“小巨人”企业，承担了发改委集成电路专项项目A、科技部重大专项项目C子课题、工信部国家重点小巨人“三新”“一强”推进计划项目D等国家级重大科研任务攻关，同时还深度参与了多个国家发展改革委集成电路专项项目等，解决我国半导体产业链“卡脖子”领域问题。

客户集中度持续提升

得益于下游应用行业的不断发展和公司整体竞争力提升，神州股份在报告期内的主营产品销量持续上升，收入规模也随之增长。 2023年至2025年（以下简称“报告期”），神州股份实现的营业收入分别为2.61亿元、4.46亿元、6.54亿元，最近三年营业收入复合增长率为58.31%；同期实现的净利润分别为-2231.88万元、1.36亿元、2.09亿元，其中2024年和2025年分别同比增长708.25%和54.22%。

对于收入的高速增长，神州股份解释称，主要系自研产品产业化进展快速，产品相关技术参数指标达到或超越国际竞品水平，并且随着下游客户国产化需求提升，公司自研业务增长迅速所致。

神州股份的产品主要面向半导体先进制程，下游主要系半导体设备厂商和芯片产线，由于半导体先进制程领域技术壁垒和投资壁垒较大，下游行业竞争格局呈现集中度较高的状态， 因此，神州股份的客户集中度逐年走高。

招股书显示，由于自研产品批量进入了中微公司、拓荆科技、北方华创等我国头部半导体设备厂商，服务于国内头部芯片产线， 报告期内，神州股份前五大客户贡献的收入占比分别为39.31%、61.55%、72.89%， 其中2024年和2025年占比相对较高。

值得注意的是，2024年和2025年，中微公司均位列神州股份的第一大客户，分别为其贡献收入1.36亿元、3.15亿元，占营业收入的比例分别达到了30.54%、48.29%。

等离子体电源系统作为半导体设备的核心零部件，需要得到设备厂商及芯片产线的双重认证，设备定型通过芯片产线验证后才能够导入供应链，通常不再轻易更换供应商，同时，半导体设备厂商为保证核心零部件的安全供应，通常会选择与头部等离子体电源系统供应商长期合作。

神州股份对此表示，中微公司、拓荆科技、北方华创等企业系国内半导体设备龙头，行业地位稳固、经营状况良好，公司与上述企业合作稳定。另外，公司目前有多款新产品正在客户验证中。

但与此同时，神州股份亦在招股书中提示风险：“如果上述主要客户未来的经营状况、技术路线、公司战略、产品价格等发生较大变化，或下游行业竞争格局发生较大变化，则可能对公司经营业绩产生不利影响。”