上海
EBSD（电子背散射衍射），是一个SEM扫描电镜上的附件，主要应用于提供材料晶体学的信息。可以在同时观察表面微观形貌的情况下获取该点位置的晶体学信息，因此是一种先进的获取样品晶体学信息的方式，通过EBSD的测试结果，可以获者样品的晶粒取向，大小，织构等等非常多的信息。
01电子束与材料
首先，EBSD作为SEM的一个附件，其工作原理离不开SEM的工作原理，而SEM在工作时候实际上就是通过电子束轰击样品表面然后收集相关的信息得到的表面形貌，其实电子束轰击到样品表面之后，我们能得到的信息是很多的，如下图所示。
电子束轰击样品
如图所示我们可以发现里面有很多的信息；一般来说SEM所收集的是二次电子的信息，用于形貌分析；X射线一般是EDS收集的能谱信息，一般用于元素分析，而EBSD收集的就样品的背散射电子的信息。
02EBSD的测试原理
根据上面的电子束与样品信息，我们知道EBSD主要收集的是样品的背散射电子的信息，而根据名字EBSD叫电子背散射衍射，上面只是说了背散射的部分，下面我们简单的来介绍一下背散射与衍射的关系。
1）首先我们来说一下什么叫背散射：我们应该都知道卢瑟福用α粒子轰击金箔的实验，这个实验中卢瑟福观察到大部分的α粒子可以透过金箔但是也收集到了极少数的大角度散射甚至是反射回来的α粒子，因此建立了近代的原子的核模型。在这个实验中那些会反弹的大角度散射就是背散射，简单的说：背散射电子就是电子在轰击样品的时候直接撞上原子核了，然后被反弹回来的电子。
2）再然后就是衍射：衍射属于波的行为，当波通过狭缝后发生偏移从而产生衍射花样；电子束具备波动性；当背散射电子撞击到原子核反弹的时候，经过样品的晶格结构的时候就会发生衍射现象，因此我们接受的就是样品晶体的的衍射花样的结果，EBSD也就是这样分析样品的晶体学信息的。以上就是简单的EBSD的部分介绍，后续我们会接着往下一步步将整个EBSD的应用介绍完毕。其实从上面的原理部分不难看出，对于EBSD的测试来说，如果想要有好的测试结果，更多的背散射电子和更稳定的表面晶体结构信息是必要的。
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
