北京
国家知识产权局信息显示，芯米（厦门）半导体设备有限公司申请一项名为“一种机械手臂真空状态自检和预警的智能控制装置及方法”的专利，公开号CN122500786A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明公开了一种机械手臂真空状态自检和预警的智能控制装置及方法，属于半导体制造设备技术领域。装置包括：搬运机构，其机械手臂上集成有含真空吸附端、真空发生器和真空压力传感器的真空吸附回路；真空自检单元平台，定位放置标准晶圆，用于机械手臂移动至平台执行吸附动作时，为真空吸附端提供恒定物理基准面；控制器，分别与电机伺服驱动器、真空发生器以及真空压力传感器通信连接，被配置用于基于在自检平台处获取的负载真空自检值，动态更新正常生产过程中的真空报警阈值，并在实时值未达阈值时预警。排除了外部生产变量的干扰，并通过动态更新阈值解决固定阈值引发误报的问题，实现了对真空回路真实密封状态精准且自适应的预防性诊断。
天眼查资料显示，芯米（厦门）半导体设备有限公司，成立于2019年，位于厦门市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本3051.1642万人民币。通过天眼查大数据分析，芯米（厦门）半导体设备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目20次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息87条，此外企业还拥有行政许可14个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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