国家知识产权局信息显示,青岛联智光通信技术有限公司申请一项名为“一种激光芯片的制备方法”的专利,公开号CN122512217A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本申请提供了一种激光芯片的制备方法,包括:利用第一组合气体对窗口区域的介质层进行第一次干法刻蚀,以使窗口区域的介质层剩余预设厚度,第一组合气体包括氟碳化合物和氧气,之后利用第二组合气体对剩余的介质层进行第二次干法刻蚀,最终使窗口区域的半导体层表面暴露,第二组合气体包括氟碳化合物和氩气。完成两次干法刻蚀后,利用腐蚀液体对暴露出来的半导体层表面进行湿法处理,去除干法刻蚀过程中在半导体层表面残留的聚合物副产物与介质碎屑,避免残留杂质影响后续电极与半导体层的接触性能。最后在清洁后的窗口区域半导体层表面沉积电极材料,形成与半导体层形成稳定欧姆接触的电极层。
天眼查资料显示,青岛联智光通信技术有限公司,成立于2025年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本38000万人民币。通过天眼查大数据分析,青岛联智光通信技术有限公司专利信息53条,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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