国家知识产权局信息显示,宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“半导体处理设备”的专利,公开号CN122514217A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本公开涉及一种半导体处理设备,包括:机械臂、升降机构、工艺腔和上下料口。机械臂设置于回转空间内;机械臂的末端执行机构能够绕竖直轴线回转并沿径向伸缩,以取放晶圆;升降机构用于驱动机械臂沿竖直方向运动;多个工艺腔在竖直方向上堆叠布置为至少两层,且围绕回转空间布设;每个工艺腔均设有面向回转空间的输送口;至少一个上下料口与多个工艺腔共同围绕回转空间布设;回转空间、多个工艺腔及上下料口在水平面上的投影呈网格状排布,上下料口与多个工艺腔分别位于回转空间的周向不同方位;机械臂通过回转、伸缩和升降,使其末端执行机构选择性地与任一输送口或上下料口对准,以独立完成各工艺腔与上下料口之间的晶圆取放作业。
天眼查资料显示,宁波润华全芯微电子设备有限公司,成立于2016年,位于宁波市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析,宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目190次,财产线索方面有商标信息16条,专利信息210条,此外企业还拥有行政许可25个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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