芯片晶圆金属层轻薄,极易受潮氧化、静电损伤,存储环境直接决定芯片良率,高强智能氮气柜专为半导体晶圆、芯片打造全自动低湿无氧存储方案,适配晶圆厂、封测车间全流程物料存放需求。
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高强智能氮气柜
设备搭载高精度传感模组,可稳定将柜内湿度控制在1%RH以下,氧浓度低于100ppm,搭配多点均匀供气结构,消除内部温湿度死角,隔绝水汽与氧气,避免晶圆表面生成氧化层,保障光刻、镀膜等后续工艺精度。整机采用双层密封防静电柜体,静电阻值符合无尘车间ESD标准,有效规避静电击穿芯片风险,气密性优异,大幅减少氮气损耗。
内置智能微电脑控制系统,实现全自动控湿控氮,湿度超标自动补氮,达标即刻断气,相较传统直充机型节约七成氮气,长期降低生产运营成本。支持温湿度、氧含量实时显示、超限声光报警,可存储导出运行数据,对接工厂MES管理系统,满足制程溯源管控要求。
产品覆盖多规格容量,支持无尘室非标定制,可7×24小时连续稳定运行,凭借高精度控湿、节能耐用、洁净安全的核心优势,成为国内芯片晶圆制造企业主流选用的专业存储设备,从存储环节减少物料报废,提升整体生产良率。
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