国家知识产权局信息显示,浙江大学;浙江创芯集成电路有限公司申请一项名为“一种垂直结构Micro LED器件及其制造方法”的专利,公开号CN122497174A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本发明公开一种垂直结构MicroLED器件及其制造方法,首先在发光外延层和CMOS驱动晶圆表面分别沉积铝金属层及钝化层,在空气低温低压下进行原子扩散键合;去除衬底后,经两步刻蚀形成独立发光台面及阳极;对侧壁进行损伤修复并沉积双层钝化层;沉积三层梯度ITO并刻蚀制备光子晶体;最后填充沟槽光学隔离层并压印形成微透镜阵列。本发明有效解决了键合应力与氧化难题,通过多维光学结构协同作用,显著提高了光提取效率和光束方向性,消除了像素串扰,适用于高密度微显示制造。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.