北京
国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“用于处理半导体基材的表面的方法和设备”的专利，公开号CN122484715A，申请日期为2020年9月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于处理基材（100）的表面的方法，应用的集群设备（1）包括输送室（10）和连接到输送室（10）的两个或更多个处理反应器（20、30、40、60）。方法进一步包括使基材（100）的表面经受表面准备步骤以提供准备好的基材表面，在基材（100）的准备好的基材表面上提供中间层以形成中间基材表面，并且在基材（100）的中间基材表面上提供功能层。处理步骤在连接到输送室（10）的至少两个不同的处理反应器（20、30、40、60）中执行，基材（100）在真空环境下通过输送室（10）在至少两个处理反应器（20、30、40、60）之间被输送。
天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本135298.7908万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目89次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息189条，此外企业还拥有行政许可25个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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