国家知识产权局信息显示,北京奥普托科微电子技术有限公司申请一项名为“检测系统”的专利,公开号CN122487234A,申请日期为2026年4月。
专利摘要显示,本申请公开了一种检测系统,涉及半导体集成电路技术领域。检测系统包括硅光芯片和检测设备,其中,硅光芯片设置于检测设备中入射光的反射光路上,用于接收反射光,并对反射光进行偏振处理,得到目标偏振态的回收光束并输出,偏振处理包括:从反射光中分离出至少一个偏振分离对应的光束,并且,对至少一个光束进行回收。本申请能够将反射光的能量重新利用,避免反射光浪费,提高激光利用率。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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