北京
国家知识产权局信息显示，苏州佳准智能科技有限公司申请一项名为“基于光学定位的多轴并联解耦运动平台”的专利，公开号CN122476863A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本发明公开了基于光学定位的多轴并联解耦运动平台；本发明涉及半导体生产技术领域；基于光学定位的多轴并联解耦运动平台，包括安装于机壳1中的移动机构6，移动机构6由光学定位组件3进行定位并执行驱动动作，移动机构6驱动有移动台2进行移动；移动机构6内安装有若干永磁体组成的磁感驱动阵列组5，磁感驱动阵列组5在移动台2的行进方向生成弱磁场，并在行进方向的相反的一侧生成强磁场；在晶圆传输系统中，通过动态调整磁感驱动阵列的“右→下→左→上”磁化序列，可实现晶圆Z轴升降的±0.05μm级控制，避免机械接触导致的颗粒污染。同时主‑从运动平台（移动台2与被驱动件4）通过柔性铰链/气浮导轨连接。
天眼查资料显示，苏州佳准智能科技有限公司，成立于2023年，位于苏州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州佳准智能科技有限公司财产线索方面有商标信息2条，专利信息6条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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