北京
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国家知识产权局信息显示，艾必客股份有限公司申请一项名为“温度测量装置、温度测量方法及温度测量程序、以及晶圆制造装置”的专利，公开号CN122477360A，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，提供一种温度测量装置，在间接地测量作为测量对象的硅晶圆的温度的状况下，从实测的辐射亮度中排除起因于腔室部件的辐射亮度的影响，而计算测量对象的温度变化量。该温度测量装置具备：收容测量对象物的腔室；加热部；设置于与测量对象物相对的腔室位置的腔室窗部；测量测量对象物和腔室窗部的温度的温度测量部；以及根据温度测量部的检测值计算测量对象物温度的运算部。运算部具备：换算部，其根据由温度测量部的检测值算出的实测温度，生成与腔室窗部的温度变化量相对应的测量对象物的温度变化量的换算数据；条件获取部，其获取测量对象物的加热条件；检测值获取部，其获取温度测量部的检测值；以及温度校正部，其使用换算数据对由温度测量部的检测值算出的实测温度进行校正而推算测量对象物的温度。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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