赛腾精密申请动态焦面补偿相关专利，动态焦面补偿提升长行程扫描曝光的良率与均匀性

来源：新浪证券-红岸工作室

7月25日消息，国家知识产权局信息显示，苏州赛腾精密电子股份有限公司申请一项名为“一种动态焦面位置补偿方法与系统”的专利。申请公布号为CN122449864A，申请号为CN202610912401.7，申请公布日期为2026年7月24日，申请日期为2026年6月24日，发明人孙丰、何棕峻，专利代理机构苏州大成君合知识产权代理事务所（普通合伙），专利代理师张印铎、杨新星，分类号G03F9/00。

专利摘要显示，本发明公开了一种动态焦面位置补偿方法及系统。通过距离传感器预扫描基板表面，上位机生成对应补偿数组并下发至 PLC；编码器输出的高频脉冲经同步板降频处理，转为固定空间间隔且适配 PLC 高速计数的触发脉冲。PLC 运算传感器与调焦组件的安装偏移确定补偿起始位置，累计脉冲次数，达到对应固定间隔的脉冲数时，在硬件中断中依序读取补偿数组的焦面目标值，驱动直线伺服模组动子沿直线伺服模组轴向运动，通过移动下方光学组件调整光学系统厚度改变焦距，实现动态补偿；平台回退时屏蔽中断并复位计数。本方案实现确定性实时调焦，自动补偿安装偏移，结构精简、响应快，显著提升长行程扫描曝光的线宽均匀性与产品良率。

赛腾股份是国内领先的自动化设备与高端半导体设备服务商，拥有全产业链布局优势。公司成立于2007年6月19日，于2017年12月25日在上海证券交易所上市，注册及办公地址均位于江苏省苏州市。

公司主营业务涵盖自动化生产设备的研发、设计、生产、销售及技术服务，可为客户提供生产智能化系统解决方案，核心布局高端半导体设备领域，所属申万行业为机械设备-自动化设备-工控设备，同时归属于半导体、半导体产业、半导体设备相关概念板块。

2025年，赛腾股份实现营业收入33.86亿元，在31家同行业可比公司中排名第7位，营收规模接近33.9亿元的行业平均水平，大幅高于10.81亿元的行业中位数，同期行业内营收排名前两位的企业分别为汇川技术（451.05亿元）、中控技术（80.73亿元）；公司营收结构中，自动化设备贡献25.28亿元，占比74.66%，夹治具贡献7.33亿元，占比21.65%，技术服务费贡献1.11亿元，占比3.27%，其他补充业务贡献1398.15万元，占比0.41%。同期公司实现净利润5.1亿元，在31家同行业可比公司中位列第3位，显著高于2.98亿元的行业平均水平与7248.31万元的行业中位数，行业内净利润前两位的企业分别为汇川技术（51.73亿元）、大豪科技（7.59亿元）。

业绩指标 2025年当期数值 行业排名/总家数 行业头部企业表现 行业平均水平 行业中位数水平 营业收入 33.86亿元 7/31 第一汇川技术451.05亿元、第二中控技术80.73亿元 33.9亿元 10.81亿元 净利润 5.1亿元 3/31 第一汇川技术51.73亿元、第二大豪科技7.59亿元 2.98亿元 7248.31万元 业务构成 营收规模 营收占比 自动化设备 25.28亿元 74.66% 夹治具 7.33亿元 21.65% 技术服务费 1.11亿元 3.27% 其他(补充) 1398.15万元 0.41%

苏州赛腾精密电子股份有限公司近期专利情况如下：

序号专利名称专利类型法律状态申请号申请日期公开(公告)号公开(公告)日期发明人1一种动态焦面位置补偿方法与系统发明专利公布CN202610912401.72026-06-24CN122449864A2026-07-24孙丰、何棕峻2一种柔性粘尘装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610798626.42026-06-04CN122322207A2026-07-03孙丰、魏如冰3字符检测装置发明专利实质审查的生效、公布CN202610721733.72026-05-25CN122258820A2026-06-23孙丰、赵建华、蒋立4表面检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202610646849.92026-05-12CN122217871A2026-06-16孙丰、赵建华、蒋立5相机模组及具有其的检测装置发明专利授权CN202610646907.82026-05-12CN122172497B2026-07-17孙丰、赵建华、蒋立6弹夹固定机构发明专利实质审查的生效、公布CN202610608671.92026-05-06CN122142926A2026-06-05孙丰、姜金林7表面检测装置及检测系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610579243.82026-04-29CN122121596A2026-05-29孙丰、赵建华、田斌8倒挂龙门下料喷码机构发明专利实质审查的生效、公布CN202610506982.42026-04-16CN122034346A2026-05-15孙丰、吴晓伟9一种绕线理线下料装置发明专利授权CN202610506960.82026-04-16CN122051024B2026-07-07孙丰、曾志10一种边缘测量设备及边缘测量方法发明专利公布CN202610485276.62026-04-14CN122360333A2026-07-10孙丰、赵建华、田斌11一种缺口测量设备及缺口测量方法发明专利公布CN202610485274.72026-04-14CN122384667A2026-07-14孙丰、赵建华、田斌12线圈起尾线理线机构实用新型授权CN202620457112.82026-04-08CN224217354U2026-05-08孙丰、陈翔13一种绕线装置发明专利授权CN202610452171.02026-04-08CN122000194B2026-07-07孙丰、刘德旺14绕线移载模组实用新型授权CN202620437922.72026-04-03CN224232507U2026-05-12孙丰、曾志15弹夹流线回流机构实用新型授权CN202620421500.02026-04-01CN224225982U2026-05-12孙丰、辛鑫16基于线扫相机的晶圆表面缺陷检测系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610402027.62026-03-30CN122193090A2026-06-12孙丰、赵建华、田斌17一种送线模组实用新型授权CN202620380392.72026-03-25CN224217351U2026-05-08孙丰、刘德旺、曾志18一种排线机构实用新型授权CN202620340287.02026-03-19CN224232510U2026-05-12孙丰、曾志、刘德旺19晶圆表面检测控制方法、装置、系统及其存储介质发明专利授权CN202610179893.32026-02-09CN121666044B2026-05-05孙丰、赵建华、蒋立20缺陷检测设备及检测系统发明专利授权CN202610170018.92026-02-06CN121678703B2026-04-17孙丰、赵建华、蒋立21表面检测设备及检测系统发明专利授权CN202610170019.32026-02-06CN121693113B2026-05-05孙丰、赵建华、蒋立22一种保压压力调节方法和系统发明专利实质审查的生效、公布CN202610090113.82026-01-22CN121979312A2026-05-05孙丰、金辉23一种触摸板手感自动调节方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610076654.52026-01-21CN122066769A2026-05-19孙丰、孙亮24一种基于LabVIEW平台的通用型测试系统及方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610037202.62026-01-13CN122045039A2026-05-15孙丰、宋新勇25一种基于LabVIEW平台的视觉编辑系统和方法发明专利实质审查的生效、公布CN202610013582.X2026-01-07CN121879746A2026-04-17孙丰、董科26改进取放料方式的五轴检测设备发明专利实质审查的生效、公布CN202511973227.92025-12-25CN121397208A2026-01-23孙丰、韩政权27一种多轴旋转垂直取放料模组实用新型授权CN202522746218.82025-12-25CN223891975U2026-02-10孙丰、韩政权28一种用于3D线激光相机的沙姆镜头发明专利实质审查的生效、公布CN202511781002.32025-11-28CN121454742A2026-02-03孙丰、杨帆、陈东29一种全自动送线折弯下料一体装置发明专利公布CN202511318971.52025-09-16CN120961783A2025-11-18孙丰、曾志30一种旋转搬运机构发明专利实质审查的生效、公布CN202511318771.X2025-09-16CN121237563A2025-12-30孙丰、曾志31一种转盘式组装装置发明专利授权、公布CN202511256031.82025-09-04CN120715629B2025-11-04孙丰、董东刚32一种流水线式组装装置发明专利授权、公布CN202511255999.92025-09-04CN120734760B2025-11-04孙丰、吴晓伟33一种用于高效快速组装两个工件的组装装置发明专利授权、公布CN202511255839.42025-09-04CN120755641B2025-11-04孙丰、王万兴34一种便于快速上料的料仓模组实用新型授权CN202521874619.52025-09-01CN223385420U2025-09-26孙丰、喻加明35一种固化模组实用新型授权CN202521842645.X2025-08-28CN223405312U2025-10-03孙丰、徐黎明36一种料仓解锁模组实用新型授权CN202521842209.22025-08-28CN223408923U2025-10-03孙丰、王万兴37用于锁定和开放多个料盘的保管机构实用新型授权CN202521841958.32025-08-28CN223467901U2025-10-24孙丰、任凯38一种磁吸固定载具实用新型授权CN202521794296.92025-08-22CN223383374U2025-09-26孙丰、徐黎明39一种组装模组发明专利授权CN202511146888.42025-08-15CN120696943B2025-10-28孙丰、王万兴40将折弯工件移动至组装工位的换手模组发明专利授权CN202511143073.02025-08-15CN120715581B2025-10-28孙丰、游伟41用于对条状小零件进行折弯的折弯模组发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202511112839.92025-08-09CN120587299B2025-10-03孙丰、董东刚42一种组装脱磁承载装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202511052574.82025-07-29CN120551738B2025-09-19孙丰、任凯43一种脱磁翻转下料模组发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202511052570.X2025-07-29CN120553430B2025-09-30孙丰、董东刚44一种VCM线圈理线装置实用新型授权CN202521535020.92025-07-22CN224467252U2026-07-07孙丰、刘德旺45晶圆分片移动在线检测装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510918310.X2025-07-03CN120453202B2025-09-02孙丰、田斌46晶圆翻转检测装置发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510916199.02025-07-03CN120404763B2025-09-05孙丰、李振豪47一种晶圆分片机构发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510918315.22025-07-03CN120413488B2025-09-09孙丰、李振豪48一种晶圆检测机构发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510857688.32025-06-25CN120369740B2025-09-05孙丰、田斌49晶圆检测装置及检测方法发明专利授权、实质审查的生效、公布CN202510817412.22025-06-18CN120319681B2025-08-22孙丰、盛凯50蘑菇头拆解机构实用新型授权CN202520492890.62025-03-20CN223903319U2026-02-13孙丰、李玉柱