北京
国家知识产权局信息显示，东海县凯凯石英制品有限公司申请一项名为“一种半导体热处理用石英炉管及其制备方法”的专利，公开号CN122446145A，申请日期为2026年4月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体热处理用石英炉管，包括筒状管体，由石英玻璃制成；设置于筒状管体内壁的多层梯度复合涂层；多层梯度复合涂层由内向外依次包括：过渡层，功能层，表面层。本发明通过梯度成分设计解决涂层与石英基体的热膨胀匹配问题，利用牺牲性纳米颗粒在高温工艺过程中与工艺气体反应动态生成保护层，实现涂层的原位自修复，同时多孔表面层可捕获工艺过程中产生的颗粒。本发明可显著延长石英炉管使用寿命，提高晶圆热处理均匀性，减少颗粒污染，适用于集成电路制造中的扩散、氧化、退火等热处理工艺。
天眼查资料显示，东海县凯凯石英制品有限公司，成立于2003年，位于连云港市，是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，东海县凯凯石英制品有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息72条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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