北京
国家知识产权局信息显示，上海原子启智半导体设备有限公司申请一项名为“腔室测压系统、半导体处理装置及处理方法”的专利，公开号CN122429985A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明公开了一种腔室测压系统、半导体处理装置及处理方法。该腔室测压系统包括腔室、压力计、连接通道、流量计和控制器。腔室内压力能够在压力变化期和压力稳定期之间切换；压力计设于腔室外，通过连接通道与腔室连通；流量计设置于连接通道上，用于检测连接通道内的气体流量；控制器分别与压力计和流量计通信连接，当流量计检测到连接通道内的气体流量小于第一阈值时，判定腔室内的压力处于压力稳定期。通过流量计检测连接通道内的气体流量来判定腔室内的压力稳定状态，能够有效解决现有技术中依赖压力计读数稳定判定压力稳定导致的滞后问题，特别适用于需要快速压力切换的半导体工艺，能够显著提高工艺效率和工艺一致性。
天眼查资料显示，上海原子启智半导体设备有限公司，成立于2025年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1493.1645万人民币。通过天眼查大数据分析，上海原子启智半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息4条，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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