北京
国家知识产权局信息显示，上海优睿谱半导体设备有限公司申请一项名为“一种基于声光调制器同步控制的晶圆检测信号变采样采集方法及晶圆缺陷检测系统”的专利，公开号CN122385638A，申请日期为2026年6月。
专利摘要显示，本发明涉及一种基于声光调制器同步控制的晶圆检测信号变采样采集方法及晶圆缺陷检测系统，包括:基于晶圆缺陷检测系统参数，规划全晶圆扫描采样率；配置扫描运动参数；根据扫描运动参数和全晶圆扫描采样率生成实际采样率信号并下发至信号采集卡；信号采集卡接收实际采样率信号，同步控制声光调制器AOM和光电探测器，采集晶圆表面散射光对应的光电信号，得到原始采样数据；信号采集卡对原始采样数据进行插值处理，以使晶圆在同等旋转扫描行程下，所对应的采样点密度相同；以及对插值处理后的图像数据进行缺陷算法分析，以识别检测晶圆表面的缺陷。本发明解决入射光功率和晶圆表面损伤阈值之间的矛盾，实现激光光功率和采样率之间的同步调节。
天眼查资料显示，上海优睿谱半导体设备有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本741.3719万人民币。通过天眼查大数据分析，上海优睿谱半导体设备有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目15次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息35条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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